李戈扬
- 作品数：220 被引量：638H指数：16
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金上海市科委纳米专项基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术金属学及工艺电子电信更多>>
- 纳米多层膜中的交变应力场与超硬效应
- 由两种陶瓷材料以纳米量级交替沉积形成的纳米多层膜存在硬度异常升高的超硬效应,由于其在耐磨减摩涂层上的重要应用前景而得到关注和研究。调制周期从1.6nm到24nm的一系列VN/(Ti,Al)N纳米多层膜和VN、(Ti,Al...
- 张惠娟袁家栋许辉赵文济李戈扬
- 关键词：纳米多层膜交变应力场单层膜
- 基片与膜厚对硬质薄膜力学性能的影响被引量：26
- 2003年
- 采用毫牛力学探针技术的两步压入试验法研究了高速钢和不锈钢基片上不同厚度TiN薄膜的硬度和弹性模量。结果表明 :采用同样工艺制备的TiN薄膜 ,其力学性能随基片类型和膜厚的不同有明显变化。薄膜的硬度和弹性模量随膜厚的增加而提高 ;基体硬度的提高也使薄膜呈现较高的硬度和模量。分析认为薄膜内应力状态的改变是产生这些现象的主要原因。
- 戴嘉维张惠娟李戈扬
- 关键词：基片弹性模量
- TiN/Si_3N_4纳米多层膜的生长结构与超硬效应被引量：17
- 2005年
- 采用磁控溅射方法制备了一系列不同Si3N4和TiN层厚的TiN/Si3N4纳米多层膜,采用X射线衍射、高分辨电子显微分析和微力学探针表征了薄膜的微结构和力学性能,研究了Si3N4和TiN层厚对多层膜生长结构和力学性能的影响。结果表明:当Si3N4层厚小于0.7 nm时,原为非晶的Si3N4在TiN的模板作用下晶化并与之形成共格外延生长的柱状晶,使TiN/Si3N4多层膜产生硬度和弹性模量异常升高的超硬效应。最高硬度和弹性模量分别为34.0 GPa和353.5 GPa。当其厚度大于1.3 nm时,Si3N4呈现非晶态,阻断了TiN的外延生长,多层膜的力学性能明显降低。此外,TiN层厚的增加也会对TiN/Si3N4多层膜的生长结构和力学性能造成影响,随着TiN层厚的增加,多层膜的硬度和弹性模量缓慢下降。
- 胡晓萍董云杉孔明李戈扬顾明元
- 关键词：超硬效应
- CHF_3/C_6H_6等离子体中的基团分析
- 2003年
- 在一个微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积系统中,测量了CHF3、C6H6及其混合气体放电的质谱和发射光谱图,分析了等离子体中主要基团的分布及其产生的途径,研究了放电功率和流量对主要基团密度的影响,以及它们与氟化非晶碳薄膜沉积速率和键结构之间的关联。结果表明,提高微波功率会增加CHx、CFx等成膜基团的密度,有利于加大沉积速率;而增加CHF3的进气量则会加大F原子基团的密度,这是由于它控制了薄膜的氟化程度。
- 程珊华宁兆元李戈扬叶超杜伟辛煜
- 关键词：氟化非晶碳薄膜发射光谱CHF3C6H6基团
- AlN/VN纳米多层膜的共格生长与超硬效应被引量：4
- 2004年
- 研究了亚稳相立方AlN(c-AlN)在AlN/VN纳米多层膜中的形成条件以及c-AlN对纳米多层膜力学性能的影响。一系列不同调制周期的AlN/VN多层膜采用反应磁控溅射法制备,多层膜的微结构采用小角度X射线衍射和高分辨电子显微镜表征,利用微力学探针测量了多层膜的力学性能。结果表明:亚稳的c-AlN因VN的'模板'作用生成于小调制周期的纳米多层膜中,并与VN形成共格外延生长的超晶格柱状晶,从而使多层膜产生硬度和弹性模量升高的超硬效应。随调制周期的增大,c-AlN转变为稳定的六方结构(h-AlN),使多层膜形成纳米晶的'砖墙'型结构。此时多层膜的硬度和弹性模量与混合法则所得值相当。AlN/VN纳米多层膜在小调制周期下产生的超硬效应与c-AlN形成带来的性质变化以及c-AlN与VN形成共格结构所产生的界面交变应变场有关。
- 李戈扬劳技军田家万韩增虎
- 关键词：亚稳相超硬效应
- 非晶态Ti-B-N薄膜的制备及晶化研究被引量：1
- 1998年
- 采用双靶轮流溅射技术，以Ｔｉ和六方氮化硼（ｈ－ＢＮ）反应合成Ｔｉ－Ｂ－Ｎ薄膜，并采用ＸＲＤ、ＴＥＭ和显微硬度计研究薄膜的微结构及其力学性能。结果表明，镀态Ｔｉ－Ｂ－Ｎ薄膜为非晶体Ｔｉ（Ｎ，Ｂ）化合物，其硬度达到ＨＫ２４７０；薄膜经过热处理晶化形成ＴｉＮ结构类型的Ｔｉ（Ｎ，Ｂ）晶体，硬度略有降低。
- 李戈扬王公耀李鹏兴王纪文王永瑞
- 关键词：晶化
- 历代龙泉青瓷釉的初步研究被引量：16
- 2004年
- 龙泉窑是我国陶瓷生产业中最重要的窑场之一 ,其制瓷业有着一千多年的发展历史。现代仿古龙泉青瓷的生产水平也达到了一定高度。为研究不同时代龙泉青瓷产品的特征 ,特采集一组宋、元、明及现代龙泉青瓷样品 ,通过显微观察、色度测定及对瓷釉的主量、微量化学组成进行X荧光分析 ,实验数据分析表明龙泉青瓷釉的制作有一定的年代特征 ,宋早期青瓷釉中存在石灰釉产品 ,而南宋以后 ,龙泉青瓷釉逐渐成为石灰碱釉。现代仿古龙泉青瓷的主量化学组成与古龙泉青瓷有很大相似性 ,但微量组成的不同反映出在原料配方上还存在很大差异。
- 熊樱菲何文权李戈扬杨冠富吴秋华
- 关键词：龙泉青瓷
- Ag-SiO_2纳米复合薄膜微结构研究被引量：2
- 1997年
- 本文采用基片可旋转并利用红外灯管加热基片多靶磁控溅射台的制备了不同成分及基片温度的Ag～Sio2复合薄膜。采用XRD、TEM、SEM等手段分析了薄膜的微观组织结构，并测定了薄膜的电阻率。研究结果表明：复合薄膜的微结构由多晶富Ag区和细密的Ag晶体和非晶SiO2混合物组成；室温下随SiO2含量的增加．薄膜中金属Ag呈网状分布．晶粒细化，电阻率上升；随基片温度的升高．复合薄膜中银晶体最终聚集成孤立的纳米颗粒；与微结构相对应，薄膜的电阻率可在大范围（102～106μΩcm）内变化。
- 李戈扬吴亮张流强施晓蓉李鹏兴
- 关键词：磁控溅射微结构
- 纳米结构陶瓷薄膜的界面特征、超硬效应机理和调控
- 许俊华李戈扬喻利花岳建岭胡晓萍魏
- 该项目属材料科学领域。高速加工刀具最突出的要求是要有高的硬度，以TiAlN为代表的三元纳米复合涂层以及由两种陶瓷材料以纳米量级交替沉积形成的多层膜涂层，具有硬度异常升高的超硬效应，因而具有超硬效应的材料设计、制备和机理一...
- 关键词：
- 关键词：陶瓷薄膜
- X射线能量色散谱表征纳米多层膜的调制结构
- 2000年
- 提出并讨论了采用 X射线色散谱 ( EDX)技术表征纳米多层膜调制结构的原理和方法 ,对Ti N/ Nb N纳米多层膜的调制结构特征进行了表征 ,并与横截面透射电子显微镜 ( TEM)表征方法进行比较 .结果表明 ,对于多层膜的调制比 ,EDX是一种更为精确和方便的方法 .采用 EDX结合 X射线衍射 ( XRD)技术可以准确、方便地表征纳米多层膜的调制结构 .
- 李戈扬许俊华田家万金燕萍戎咏华
- 关键词：纳米多层膜调制结构
