阮勇
- 作品数：119 被引量：80H指数：5
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>
- 无线MEMS传感系统在燃气轮机等恶劣环境下的应用被引量：3
- 2014年
- 燃气轮机是应用于航空、能源、海陆交通等诸多领域的重大核心装备之一。对燃气轮机工作过程中各项环境参数(如温度、压力等)的实时监测,可进一步完善和优化燃气轮机结构、提高效率、减少排放和降低维护费用。新近发展起来的基于微机电系统(MEMS)技术的传感系统在高温、高压等恶劣环境下具有无可比拟的应用优势,特别是在恶劣工作条件下以燃气轮机为代表的大型机电设备的各项环境参数监测中,应用潜力巨大。本文对燃气轮机等恶劣环境下的传感技术、无线信号传输技术及SiC无线MEMS传感系统实现方案进行了综合介绍、评述和讨论,并对无线MEMS传感系统在燃气轮机等恶劣环境下的应用进行了展望。
- 尤政王伟忠陈硕阮勇
- 关键词：燃气轮机实时监测恶劣环境
- 氮化铝和碳化硅复合结构图形化方法以及复合结构
- 本申请提供一种氮化铝和碳化硅复合结构图形化方法以及复合结构。通过所述氮化铝和碳化硅复合结构图形化方法，在制备所述碳化硅结构和所述氮化铝结构时，对AlN(氮化铝薄膜层)采用Cl基刻蚀气体，使得AlN侧向腐蚀较小，有效维持A...
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- 热电偶测试装置、温度检测方法、处理设备和存储介质
- 本申请涉及一种热电偶测试装置、温度检测方法、处理设备和存储介质。所述热电偶测试装置包括热电偶、采集模块和处理模块，将热电偶的热端设置于待测的目标管道内，采集模块获取热电偶产生的第一电压和热电偶的冷端温度值，向处理模块传输...
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- ITO薄膜及其制备方法
- 本发明涉及一种ITO薄膜的制备方法，包括如下步骤：将基底置于腔室，并设置靶材与基底之间的距离为56mm～65mm；对所述腔室进行抽真空处理以及加热处理，使所述基底的温度为285℃～328℃；向所述腔室通入氩气，并调节所述...
- 阮勇尤政张晓琳
- 硅基叉指式电容加速度计标准化工艺制造
- 叉指式电容加速度计是一种实用化的MEMS惯性器件,其快速发展更是受到近几年来实际需求的牵动。在MEMS加速度和陀螺等惯性器件的研制过程中,其加工方法以硅基为例主要分为体硅(Bulk Silicon)和表面硅(Surfac...
- 阮勇张大成
- 关键词：MEMSICP
- 微米尺度结构最大抗扭强度的在线测试和研究被引量：2
- 2006年
- 提出了一种新型的测试结构,对面积为微米量级下键合的最大抗扭强度进行了测试.实验设计一系列的单晶硅悬臂梁结构测试键合面积在微米量级时的最大剪切力,键合面为常用的矩形其边长从6μm到120μm,并根据实际移动距离计算得出的最大剪切力.并实验实际得出最大剪切扭矩和相应的键合面积的曲线,以及最大扭转剪切破坏应力与悬臂梁加载距离的关系,并针对60μm×60μm的矩形键合结构进行了加载和位移的重复性实验测量,两次测量结果符合较好.微电子机械系统(microelectromechanical system,MEMS)器件的设计人员可以根据结论曲线,针对所需的抗扭强度设计相应的键合面积,为MEMS器件工艺的在线定量测试与设计提供参考.
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- 关键词：阳极键合硅深刻蚀键合强度
- 压电薄膜传感器及其制备方法
- 本申请提供一种压电薄膜传感器及其制备方法。所述压电薄膜传感器的制备方法包括提供一种压电薄膜层状结构。所述压电薄膜层状结构包括基底、第一绝缘层、压电薄膜器件和第二绝缘层。利用干法刻蚀将所述第二绝缘层与所述压电薄膜器件相对的...
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- 振动传感器及其制备方法
- 本申请涉及一种振动传感器及其制备方法。上述振动传感器，包括基座和与所述基座的一端键合连接的悬臂梁结构以及压电结构。所述悬臂梁结构远离所述键合连接处的一端为振动部。所述压电结构包括依次重叠设置的第一电极层、压电层、种子层以...
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- 耐高温无线MEMS温度传感系统
- 本发明提出一种耐高温无线MEMS温度传感系统，包括：无线问询单元，用于发送/接收电磁波信号，测量、存储和处理温度数据，并将温度数据作为最终传感信号；声表面波谐振装置，用于接收来自所述无线问询单元的电磁波信号，并将电磁波信...
- 尤政王伟忠阮勇陈硕
- 芯片级原子钟物理系统
- 本申请涉及一种芯片级原子钟物理系统。其包括沿第一方向顺序堆叠设置的激光模块、光学镜片模块、微型气室模块和光电探测模块，激光模块包括第一基板和贴装于第一基板的激光源，光学镜片模块包括第二基板和嵌设于第二基板的光学镜片组，光...
- 阮勇周峥
