何苗
- 作品数:37 被引量:69H指数:4
- 供职机构:华中科技大学更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划国家自然科学基金国防科技重点实验室基金更多>>
- 相关领域:电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
- 微透镜阵列的离子束溅射刻蚀研究被引量:4
- 1997年
- 利用扫描电子显微镜(SEM)和表面探针测试,分析了采用离子束溅射刻蚀技术制作的石英微透镜阵列器件的表面微观形貌,讨论了引起微透镜表面缺陷的原因及所采取的改善表面形貌的措施,研究了采用不同层次的光致抗蚀剂微透镜图形的固化技术后,经离子束溅射刻蚀制作出的微透镜阵列器件的表面形貌差异,定性给出了表面探针测试的适用范围,此外还介绍了对所制样品所做的几项主要的处理操作。
- 张新宇易新建赵兴荣麦志洪何苗刘鲁勤
- 关键词:离子束刻蚀
- 大F数硅微透镜阵列的制作及光学性能测试研究
- 提出了一种补偿刻蚀法:在经过常规光刻热熔成形和离子束刻蚀技术制成的硅微透镜阵列上再涂敷几层光刻胶,以降低各单元微透镜的曲率。然后再次进行加热固化和离子束刻蚀。扫描电子显微镜(SEM)显示微透镜阵列为表面极为平缓的球冠形阵...
- 何苗易新建程祖海黄光刘鲁勤
- 关键词:微透镜阵列离子束刻蚀光刻胶点扩散函数
- 论新时代中国环境权的特征
- 2025年
- 在百年未有之大变局背景下,环境权保障逐渐成为各国输出本国环境治理和人权法治理念,构建法治话语体系的主要路径。新时代中国环境权亟须系统化与本土化阐发。促进中国人权法学与环境法学自主知识体系的构建,亦有助于人与自然和谐共生的中国式现代化的实现。新时代中国环境权的特征可从五个主要面向加以阐释:新时代环境权保障立足于马克思恩格斯人与自然关系思想;新时代环境权主体拓宽的文化根基是中华优秀传统文化;习近平生态文明思想为拓展新时代环境权的客体引领方向;坚实的中国力量为新时代环境权保驾护航;新时代环境权法治保障向世界彰显了大国责任与担当。新时代环境权旨在激发并联合全体人类,共同努力推进人与自然和谐共生的现代化进程。新时代中国环境权的特征向世界展现了环境保护与人权保障的中国智慧。
- 何苗
- 关键词:中国法治环境权生态文明人与自然和谐共生
- 衍射微透镜阵列的光学性能研究及测试被引量:9
- 2000年
- 对衍射微透镜阵列的光学性能进行理论上的研究 ,并提出一种测试微透镜阵列衍射效率和点扩散函数的方法 ,建立了一套测试系统 ,并对本所研制的 12 8× 12 8衍射微透镜阵列的衍射效率和点扩散函数进行了测试。测试结果证明本所研制的 2位相的石英和硅衍射微透镜阵列的性能较好 ,均匀性较高 ;而由于工艺和光刻系统的限制 ,4位相衍射微透镜的制作还存在一些不足 ,这些都可以从所得到的衍射微透镜的点扩散函数曲线图和衍射效率看出。该方法适于测试具有微小单元尺寸、周期排列的微透镜阵列或单元的衍射效率和点扩散函数。
- 陈四海李毅何苗张新宇易新建
- 关键词:二元光学光学性能
- 线列混合型石英微透镜/红外探测器阵列的研究被引量:3
- 1998年
- 阐述了利用离子束刻蚀技术制作线列长方状拱面石英微透镜阵列的工艺方法,对所制微光学元件的光学性能进行了测试和讨论,所制成的石英微透镜阵列器件在线列YBa2Cu3O7-δ高Tc超导薄膜红外探测器上得到了应用。实验结果表明,混合型的石英微透镜/红外探测器结构显著改善了线列YBCO高温超导薄膜红外探测器的光响应特性。
- 张新宇易新建赵兴荣赵兴荣何苗刘鲁勤
- 关键词:离子束刻蚀微透镜阵列YBCO红外探测器
- 面阵IRCCD摄像芯片用折射微透镜阵列的离子束刻蚀制作被引量:2
- 1999年
- 采用氩离子束刻蚀制作与一种128×128元PtSiIRCCD摄像芯片匹配的单片硅折射微透镜阵列.所制成的微小光学阵列元件的填充系数高于95%,每单元硅折射微透镜为矩底拱面形,其近轴光(3~5μm光谱波段)的焦距约为80μm。
- 张新宇易新建何苗赵兴荣
- 关键词:电荷耦合器件
- 微透镜和高Tc超导红外探测器组件被引量:1
- 1998年
- 本文首次报道了利用微透镜阵列来提高YBCO高Tc超导薄膜红外探测器的光响应特性,介绍了利用光刻/离子束刻蚀的方法制作单片线列石英微透镜阵列的工艺以及制备线列YBCO高Tc超导薄膜红外探测器的方法,并将所制的石英微透镜阵列应用于YBCO超导器件。实验结果显示,所制超导红外探测器阵列的光响应特性有明显改善。
- 张新宇易新建赵兴荣何苗张智刘鲁勤
- 关键词:YBCO红外探测器超导器件
- 128×128凹型GaAs微透镜阵列器件的制作研究被引量:2
- 2001年
- 提出了一种制作 12 8× 12 8球冠型GaAs凹折射微透镜阵列新的方法———曲率倒易法。扫描电子显微镜(SEM )显示微透镜阵列为表面轮廓清晰的凹球冠面阵列 ,表面探针测试结果显示阵列表面光滑、单元重复性好 ,其凹深为 1 2 6 8μm ,焦距为 - 35 2 0 4μm。
- 何苗易新建程祖海陈四海程志军
- 关键词:砷化镓
- 一种制作多位相衍射光学元件的工艺
- 一种制作多位相衍射光学元件的工艺,在初始的光学元件基片上首先溅射一层铬膜,当从背面对负性光刻胶曝光时形成掩蔽;各位相台阶的位置由第一块掩模版决定,后面的各制作步骤不再涉及确定台阶的位置,且后续的掩模版使用只要求与第一块掩...
- 陈四海李毅赖建军何苗易新建
- 互联网金融P2P网络借贷模式及风险分析
- 21世纪以来,随着互联网技术与传统金融业的不断发展与创新,产生了一种新型的金融组织形式-P2P网络借贷,P2P网络借贷是Peer to Peer lending的缩写,是指通过互联网将小额资金聚集起来贷给有资金需求的人,...
- 何苗
- 关键词:商业银行银行经营网络信贷风险分析