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国家自然科学基金(59835180)
国家自然科学基金(59835180)
- 作品数：42 被引量：509H指数：14
- 相关作者：董申陈明君李旦张飞虎梁迎春更多>>
- 相关机构：哈尔滨工业大学北京有色金属研究总院哈尔滨医科大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金哈尔滨工业大学校基金资助哈尔滨工业大学跨学科交叉性研究基金资助更多>>
- 相关领域：金属学及工艺机械工程一般工业技术理学更多>>
- 微加工中原子力显微镜金刚石针尖的磨损研究被引量：4
- 2001年
- 考察了用原子力显微镜对单晶硅进行微加工时金刚石针尖的磨损行为 ,对针尖的磨损率、磨损机理以及针尖磨损对微加工过程的影响进行了实验研究和理论分析 .结合对单晶硅所进行的摩擦磨损试验 ,应用计算模型得出针尖的磨损率为 1.7× 10 - 1 0 m m3/(N·m) ;通过对针尖磨损特征的原子力显微镜观察 ,结合金刚石针尖上应力集中的有限元计算及单位切削力计算 。
- 赵清亮粱迎春董申
- 关键词：原子力显微镜单晶硅
- 基于原子力显微镜的纳米加工研究
- 以原子力显微镜(AFM)作为加工工具对单晶硅进行了基于金刚石针尖的纳米加工实验,运用不同的方法对纳米加工区域的特性、材料在不同垂直载荷下的去除机理及切屑形成特征进行了系统的研究和分析,提出了一种在纳米尺度下研究加工机理的...
- 赵清亮董申张秀利
- 关键词：原子力显微镜有限元方法
- 应用原子力显微镜对单晶硅进行纳米级加工被引量：4
- 2001年
- 以原子力显微镜 (AFM)作为加工工具 ,基于金刚石针尖对单晶硅进行了纳米加工实验 ,对纳米加工区域特性、材料在不同垂直载荷下的去除机理及切屑形成特征 ,进行了系统的研究和分析 ,提出了一种在纳米尺度下研究加工机理的新方法。在此基础上 ,应用有限元方法 (FEM )对AFM纳米加工中存在于金刚石针尖和被加工材料之间的作用机制进行了计算仿真。
- 赵清亮梁迎春王景贺王洪祥
- 关键词：原子力显微镜有限元方法单晶硅
- 金刚石刀具锋锐轮廓几何评定方法研究被引量：6
- 2002年
- 金刚石刀具刃口的锋锐轮廓是影响超精密加工的一个重要参数。在对金刚石刀具刃口轮廓三维测量的基础上 ,提出了精密评定切削刃锋锐轮廓的几种新方法。其中对圆评定方法、椭圆评定方法和抛物线评定方法进行了研究 ,实验结果表明这些方法不仅具有较高的评定精度 ,而且还有利于对超精密微切削机理进行分析研究。
- 孙涛王洪祥董申
- 关键词：金刚石刀具切削刃
- 单晶金刚石车刀在超精密单点切削中的磨损分析被引量：18
- 2002年
- 通过金刚石单点切削试验 ,考察了对无氧铜、铝合金和单晶硅进行超精密单点切削时金刚石刀具的磨损行为 ;分析了刀具磨损对被加工材料表面粗糙度的影响 ;并应用光学显微镜和原子力显微镜对刀具的不同磨损形态进行了宏观和微观观测 ;结合热力学、化学反应磨损和机械磨损的分析方法 ,对金刚石车刀在切削 3种材料时的不同磨损机理进行了实验研究和理论分析 .结果表明 ,为了减轻甚至消除金刚石刀具的磨损 ,在切削铜时应使用少氧或无氧的切削液 ;在切削铝时应在刀具表面涂覆润滑剂或隔离膜 ;在切削单晶硅时应保证低温和少氧环境 .
- 赵清亮陈明君梁迎春董申
- 关键词：磨损
- 脆性材料超精密磨削时影响表面质量因素的研究被引量：37
- 2001年
- 首先从理论上分析了脆性材料在超精密磨削过程中影响表面质量的各种主要因素。然后针对影响脆性材料已加工表面质量的各种主要因素作了大量的试验研究。研究结果表明，对于脆性材料，砂轮的平均磨粒尺寸对已加工表面质量的影响很大。试验证明：当采用超精密磨床并在Ｖｓ＝１２００ｍ／ｍｉｎ、ｆ＝０—２００μｍ／ｒ、ａｐ＝０．１—１０μｍ的磨削条件下进行磨削时，只有当金刚石砂轮的平均磨粒尺寸小于 ２０μｍ，才能在塑性磨制模式下加工出高质量的超光滑表面。
- 陈明君董申李旦张飞虎
- 关键词：脆性材料金刚石砂轮
- 碳纳米管原子力显微镜针尖的研究进展被引量：6
- 2002年
- 碳纳米管具有很小的半径、较高的纵横比、高的柔软性能、独特的化学结构和确定的电子特性 ,这一系列性质使得它很适合用作原子力显微镜针尖。针尖的制作原先是手工操作 ,目前应用较广泛的是化学汽相沉积法 (CVD)。这种针尖使原子力显微镜的分辨率得到很大的提高 。
- 国立秋赵铁强董申陈明君
- 关键词：原子力显微镜AFM碳纳米管针尖
- 光学非球曲面器件塑性域的超精密加工方法被引量：7
- 2000年
- 较全面地列举了国内外已实现光学器件非球曲面超精密加工的各种先进方法 ,并总结出了这些加工方法的优缺点 ,从这些加工方法中可得出 :超精密磨削不仅有较高的磨削效率 ,而且能获得很高的面形精度和极低的表面粗糙度 ,它是光学非球曲面器件塑性域超精密加工最为有效的一种方法。
- 陈明君李旦董申郭彦伟
- 关键词：光学器件离子束加工抛光加工
- 振动主动控制中的时滞特性研究
- 2001年
- 分析了时滞现象在以绝对变量反馈和相对变量反馈条件下 ,对超精密机床振动主动控制的影响。在相对变量反馈条件下 ,通过合适的增益选择 ,即可保证系统的稳定性 ,又能大大降低振动传递率。因而 。
- 盖玉先李旦董申
- 关键词：振动主动控制稳定性超精密机床
- 基于主动空气轴承作动器的模糊主动振动控制研究
- 2001年
- 提出基于主动空气轴承作动器的溜板模糊主动振动控制。在溜板的空气静压支承基础上 ,以主动空气轴承为作动器 ,采用模糊控制方法 ,实现运动中的溜板振动主动控制。在自制的空气静压导轨上用电磁激振器模拟干扰力进行振动控制实验 。
- 王加春董申
- 关键词：超精密加工溜板模糊控制振动主动控制机床
