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西安应用材料创新基金(XA-AM-200601)

作品数:1 被引量:6H指数:1
相关作者:郝跃王俊平更多>>
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇关键面积

机构

  • 1篇西安电子科技...

作者

  • 1篇王俊平
  • 1篇郝跃

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2009
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
65—90nm技术节点的WCA模型和提取算法被引量:6
2009年
在90nm和65nm技术节点,集成电路制造业的投资剧增而随机成品率却在下降低.为了提升随机成品率,带权关键面积的(WCA)计算和排序是关键.文中基于数学形态学提出了一种随机缺陷轮廓的WCA新模型,该模型不仅考虑了90nm和65nm工艺中缺陷在布线区域和空白区域的不同密度,而且也考虑了缺陷在粒径上的分布特性;同时还设计并实现了与新模型对应的WCA提取与排序算法,部分版图上的实验结果表明新WCA可以作为版图优化的代价函数,从而为随机缺陷的版图优化提供了精确依据.
王俊平郝跃
关键词:关键面积
共1页<1>
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