您的位置: 专家智库 > >

国家自然科学基金(90307007)

作品数:2 被引量:11H指数:1
相关作者:韩翔郝一龙李轶吴文刚闫桂珍更多>>
相关机构:北京大学东南大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信电气工程更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇电气工程

主题

  • 2篇MEMS
  • 1篇单晶
  • 1篇单晶硅
  • 1篇电镀
  • 1篇电镀铜
  • 1篇镀镍
  • 1篇镀镍工艺
  • 1篇镀铜
  • 1篇品质因数
  • 1篇PARAME...
  • 1篇SPIRAL
  • 1篇THICK
  • 1篇
  • 1篇COATIN...
  • 1篇INDUCT...

机构

  • 2篇北京大学
  • 1篇东南大学

作者

  • 2篇吴文刚
  • 2篇李轶
  • 2篇郝一龙
  • 2篇韩翔
  • 1篇黄风义
  • 1篇张少勇
  • 1篇李志宏
  • 1篇闫桂珍

传媒

  • 2篇Journa...

年份

  • 1篇2006
  • 1篇2005
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
MEMS Inductor Consisting of Suspended Thick Crystalline Silicon Spiral with Copper Surface Coating
2006年
A novel MEMS inductor consisting of a planar single crystalline silicon spiral with a copper surface coating as the conductor is presented. Using a silicon-glass anodic bonding and deep etching formation-and-release process,a 40μm-thick silicon spiral is formed, which is suspended on a glass substrate to eliminate substrate loss. The surfaces of the silicon spiral are coated with highly conformal copper by electroless plating to reduce the resis- tive loss in the conductor,with thin nickel film plated on the surface of the copper layer for final surface passivation. The fabricated inductor exhibits a self-resonance frequency higher than 15GHz,with a quality factor of about 40 and an inductance of over 5nil at 11.3GHz. Simulations based on a compact equivalent circuit model of the inductor and parameter extraction using a characteristic-function approach are carried out,and good agreement with measurements is obtained.
吴文刚李轶黄风义韩翔张少勇李志宏郝一龙
用于MEMS的单晶硅上无电镀铜、镀镍工艺被引量:11
2005年
开发了单晶硅上的选择性无电镀铜、镀镍工艺,形成了较为优化的施镀流程,实现了保形性、均镀性较好的铜、镍及其复合镀层.其中针对单晶硅表面的特点,采取了浓酸处理和氧等离子轰击两种表面预处理方法,优化了氯化钯对表面的激活时间,使得镀层质量得到提高.提出了以镍作为中间层以减小镀层应力的方法,施镀后获得的铜镀层的电阻率为2. 1μΩ·cm,铜/镍复合镀层的方块电阻为0. 19Ω/□.在单晶硅MEMS电感结构上实现了较好的无电镀铜,使得该元件的品质因数超过25.
韩翔李轶吴文刚闫桂珍郝一龙
关键词:单晶硅品质因数
共1页<1>
聚类工具0