魏佳斯
作品数: 27被引量:46H指数:5
  • 所属机构:上海市计量测试技术研究院
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:机械工程
  • 发文基金:上海市质量技术监督局科技项目

相关作者

蔡潇雨
作品数:42被引量:66H指数:5
供职机构:上海市计量测试技术研究院
研究主题:白光干涉 原子力显微镜 纳米 MES 微球
李源
作品数:104被引量:153H指数:8
供职机构:上海交通大学机械与动力工程学院
研究主题:纳米测量机 MEMS 微机电系统 纳米 校准
吴俊杰
作品数:33被引量:58H指数:6
供职机构:上海市计量测试技术研究院
研究主题:电容传感器 纳米测量机 白光干涉 接触式测头 共聚焦显微镜
傅云霞
作品数:120被引量:152H指数:6
供职机构:上海市计量测试技术研究院
研究主题:激光跟踪仪 光栅 测量方法 纳米 校准
雷李华
作品数:97被引量:88H指数:5
供职机构:上海市计量测试技术研究院
研究主题:光栅 纳米 校准 计量学 膜厚