搜索到204篇“ LANGMUIR探针“的相关文章
- 基于NS-DSMC耦合方法与Langmuir探针诊断的射频等离子体氧化过程中等离子体分布
- 2024年
- 采用Navier-Stokes方程和直接模拟蒙特卡罗方法相结合的方式模拟了反应腔内的气体流动,并结合Langmuir探针检测设备分析了气体流速与等离子体密度的关系。结果表明,流体均匀性对等离子体的均匀性有显著影响。在6.5 Pa的压力下,等离子体密度和流速呈正相关,与在大气压下的实验结果一致,说明提高流体均匀性可以提高等离子体的氧化均匀性。
- 刘万锁王志宝王庆蔺增
- 关键词：LANGMUIR探针
- 基于Langmuir探针的真空电弧弧后微观特性诊断
- 真空灭弧室以其环保和免维护等优点被广泛应用于配网设备，真空电弧弧后微观特性是表征真空灭弧室开断性能的重要参量。当弧后残余等离子体不能及时扩散至间隙外时，就存在重击穿的风险，导致真空灭弧室开断短路电流失败。现有工作对真空电...
- 张博皓
- 关键词：真空灭弧室真空电弧LANGMUIR探针
- 利用Langmuir探针诊断激波管高温高密度等离子体被引量：1
- 2017年
- 利用Langmuir探针诊断等离子体参数的基本原理,对由激波管产生的高温等离子体进行了密度诊断,实时得到了较为完整的等离子体伏安特性曲线,并通过数据处理得到等离子体电子温度、电子密度参数等。比较了激波马赫数9Ms^24Ms范围内,Langmuir探针与离子探针收集法电子密度测量结果,二者的差异较小,且具有相同的变化趋势,因此验证了采用本实验装置诊断等离子体的可靠性和正确性,为高温高密度等离子体的研究提供一种有效的诊断手段。
- 葛萌孙刚张莉莉谢阳
- 关键词：LANGMUIR探针等离子体电子密度伏安特性激波管
- 用于等离子体诊断的圆柱形Langmuir探针
- 本发明公开了一种用于等离子体诊断的圆柱形Langmuir探针，属于等离子体诊断技术领域。本发明使用直径为0.3mm的钨丝作为探针材料，钨丝外面包覆两层耐高温氧化铝(Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>)...
- 汤海滨张尊杨渊
- 基于改进小波阈值去噪法处理Langmuir探针信号被引量：1
- 2016年
- 在分析软硬阈值去噪特点的基础上,提出一种改进的小波阈值函数。根据Langmuir探针I-V特性曲线的特点,提出一种改进的标准差估算方法来计算小波阈值。采用基于改进标准差和改进阈值函数的小波对探针特性曲线进行去噪,仿真结果表明,改进的方法取得了良好的去噪效果,提高了信号的信噪比,降低了均方误差,去噪效果优于传统阈值去噪方法。
- 佟为明李鹏陶宝泉金显吉
- 关键词：LANGMUIR探针小波去噪标准差
- 用于大型真空舱的射频Langmuir探针系统
- 本实用新型涉及一种用于大型真空舱的射频Langmuir探针系统，在采用Mike Hopkins探针杆结构的前提下，引入滤波电路保护腔体，通过密封管路将密封腔体与真空舱上的供气接头连通，并给腔体充入保护气体，使射频滤波电路...
- 孙斌余虔赵杨魏建国张晰哲谭畅
- 用Langmuir探针法标定的发射光谱法诊断等离子体电子密度及分布被引量：5
- 2015年
- 电子密度是低温等离子体的重要参数之一,仅采用发射光谱或Langmuir探针一种诊断方法,很难测量出该参数及其分布。针对这一问题,提出了用Langmuir探针法标定的发射光谱法,用于诊断等离子体电子密度及其分布。通过对一定长度表面波等离子体源的实验测量,验证了该方法的可行性。对于电子温度变化不大的等离子体,利用本文提出的诊断方法,可以测量出其电子密度及其分布。提出的诊断方法为低温等离子体参数的实验诊断提供了一种新的途径。
- 陈宗胜林志丹时家明马丽芳
- 关键词：等离子体LANGMUIR探针发射光谱
- Langmuir探针对以SiCl_4/H_2低温沉积多晶硅薄膜过程的在线检测
- 2015年
- 利用等离子体增强化学气相沉积技术、以SiCl_4/H_2为源气体可以低温快速沉积高质量的多晶硅薄膜。采用加热可调谐Langmuir探针技术,研究了薄膜沉积过程中参与空间气相反应的电子特性——电子能量分布函数、电子平均能量和电子密度,并系统分析了影响多晶硅薄膜沉积的各工艺参数——射频功率、反应压强、氢流量和氢稀释度对电子特性的影响,并对实验结果进行了分析和讨论。
- 祝祖送尹训昌尤建村
- 关键词：LANGMUIR探针电子特性沉积速率
- 改进的小波去噪方法在Langmuir探针数据处理中的应用
- Langmuir探针是等离子体诊断的最常用工具之一.通过Langmuir探针获得的I-V特性曲线总是受到噪声的污染.为获得准确等离子体参数,将噪声信号从特性曲线中滤除是的必要的.在分析软硬阈值去噪特点的基础上,提出一种改...
- 金显吉李鹏陶宝泉李凤阁李中伟佟为明
- 关键词：等离子体测量噪声信号小波去噪方法
- 利用Langmuir探针诊断激波管高温高密度等离子体
- 本文首先阐述了利用Langmuir探针诊断等离子体参数的基本原理,然后对由激波管产生的高温等离子体进行了密度诊断,通过合理设置测试参数,实时得到了较为完整的等离子体伏安特性曲线与密度参数等.将Langmuir探针直接诊断...
- 葛萌张正龙
- 关键词：等离子体伏安特性曲线
