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金属诱导晶化(MIC)模式非晶晶化的原位透射电子显微学研究: 2024年; 非晶晶化作为一种制备晶体材料的有效方法已得到广泛应用,近年来,采用金属诱导晶化(metal induced crystallization,MIC)法显著降低材料的晶化温度引起了研究者们的兴趣。为探究MIC模式下温度对金属催化剂扩散行为及晶化过程中材料结构变化的本征影响,本研究以金属Pt诱导非晶硅晶化为例,采用透射电镜结合原位热学研究方法,在原子尺度上直接观察MIC模式下非晶硅的晶化过程。结果显示在550℃下Pt/Si界面处产生了硅化物Pt_(2)Si等化合物,使得材料界面处出现明显的结构变化。而当温度升高至650℃时,Pt会以颗粒移动的形式发生扩散,且扩散过程中会发生明显的几何结构变化。Pt与非晶硅不同的扩散速度会导致界面处出现柯肯达尔孔洞而阻碍界面处两种材料的进一步扩散。当温度升高至700℃时,非晶硅发生晶化,且在此过程中Pt对非晶硅的晶化起了促进作用。; 向斐斐李傲范浩涵林杨剑程峰葛炳辉; 关键词：透射电镜原位 MIC 非晶硅

金属诱导晶化基础与应用研究进展被引量：6: 2020年; 将非晶半导体与金属相接触,可以诱导非晶半导体在极低的温度下结晶,这一现象被称为金属诱导晶化。薄膜状态的晶体半导体是用于众多先进技术中的关键材料,被广泛应用于微电子、光电子、显示技术和光伏技术等领域。金属诱导晶化为低温晶体半导体器件的制造、纳米多孔金属材料的合成以及金属材料界面工程提供了一种崭新的途径,引起了学术界和工业界的广泛关注。本文综述了金属诱导晶化的研究进展,对不同金属/非晶半导体体系中存在的金属诱导晶化现象进行了归纳分类总结,对其热力学原理和动力学机制进行了详细的计算与分析,突出了界面热力学在薄膜体系的固→固相变中的作用,最终阐明了金属诱导晶化过程的内在机理,并对金属诱导晶化过程未来的研究趋势进行了展望。; 王祖敏张安陈媛媛黄远王江涌; 关键词：金属诱导晶化固相反应

多循环快速热退火辅助金属诱导晶化非晶硅薄膜的方法: 本发明涉及一种多循环快速热退火辅助金属诱导晶化非晶硅薄膜的方法，属于多晶硅薄膜制备工艺技术领域。用气相沉积法在载玻片衬底上沉积非晶硅薄膜；将氯化镍溶于酒精和甲苯的混合溶液，并加入乙基纤维素，配成粘稠性溶液；将该溶液旋涂，...; 金晶戴文韫瞿晓雷邱宇峰史伟民

金属诱导晶化制备高质量的多晶Ge薄膜: Ge材料在光电子以及微电子领域有重要的应用。a-Ge晶化的方法可以将廉价的a-Ge转化为高质量的多晶Ge甚至单晶Ge，因而受到人们重视。然而传统a-Ge晶化的制备方法面临一些挑战，如晶化温度过高，形成的晶向不能高度单一化...; 王鹏; 关键词：参数优化

多循环快速热退火辅助金属诱导晶化非晶硅薄膜的方法: 本发明涉及一种多循环快速热退火辅助金属诱导晶化非晶硅薄膜的方法，属于多晶硅薄膜制备工艺技术领域。用气相沉积法在载玻片衬底上沉积非晶硅薄膜；将氯化镍溶于酒精和甲苯的混合溶液，并加入乙基纤维素，配成粘稠性溶液；将该溶液旋涂，...; 金晶戴文韫瞿晓雷邱宇峰史伟民

准分子激光辅助醋酸镍溶液金属诱导晶化非晶硅薄膜的方法: 本发明涉及准分子激光辅助醋酸镍溶液金属诱导晶化非晶硅薄膜的方法，属于多晶硅薄膜制备工艺技术领域。以载玻片为衬底，用等离子体增强气相沉积法在衬底上沉积非晶硅薄膜；将醋酸镍溶于酒精和甲苯的混合溶液，并加入乙基纤维素，配置成粘...; 金晶戴文韫惠朝先刘灿史伟民

掩膜金属诱导晶化的多晶硅薄膜晶体管: 本发明提供一种掩膜金属诱导晶化的多晶硅薄膜晶体管，包括：连续横向区域的多晶硅薄膜蚀刻成有源硅岛；沉积低温氧化物作为栅极绝缘层；形成栅电极，将硼以4×10<Sup>15</Sup>/cm<Sup>2</Sup>计量离子注入...; 赵淑云郭海成王文

非晶硅金属诱导晶化方法: 非晶硅金属诱导晶化方法，本发明提供一种非晶硅金属诱导晶化方法。以非晶硅为初始材料，通过对非晶硅上LTO进行光刻制备出相应的图案。其中面积较大的被称作定位孔，面积较小的被称作镍源补充孔。然后沉积微量镍，诱导产生大晶粒的多晶...; 郭海成王文孟志国赵淑云吴春亚

一种掩膜金属诱导晶化的多晶硅薄膜: 本实用新型提供一种掩膜金属诱导晶化的多晶硅薄膜，包括：玻璃衬底，位于玻璃衬底上的硅氧化物，位于硅氧化物上面的全部晶化的多晶硅层；位于多晶硅层上的纳米二氧化硅层；纳米二氧化硅层上蚀刻出多个诱导窗口，多晶硅层形成连续的带状结...; 赵淑云郭海成王文

非晶硅薄膜的金属诱导晶化研究现状被引量：1: 2011年; 概述了非晶硅薄膜的金属诱导晶化原理,介绍了Al,Ni两种金属诱导非晶硅薄膜晶化的一般规律,详细探讨了金属诱导条件下非晶硅薄膜的本质晶化机理,旨在为非晶硅薄膜的低温成核、晶化机理研究和多晶硅薄膜的研发制备提供实验支持与理论参考。; 田跃生; 关键词：非晶硅薄膜

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