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c面蓝宝石衬底上ε-Ga_(2)O_(3)的金属有机物化学气相
2025年
本文采用金属有机物化学气相(MOCVD)法在c面蓝宝石衬底上沉ε-Ga_(2)O_(3)薄膜,研究了单步生长和两步生长方法对薄膜沉的影响。采用单步法时,薄膜直接在蓝宝石衬底上生长,使用高分辨X射线单晶衍射分析沿蓝宝石c轴方向的Ga_(2)O_(3)相构成,在生长温度从360℃变化至425℃均能观察到β-Ga_(2)O_(3)(402)峰,而在370~410℃还能观察到ε-Ga_(2)O_(3)(004)峰。其中,380和390℃时的样品具有更强的ε-Ga_(2)O_(3)(004)峰和更低的半峰全宽,以及更低的表面粗糙度。两步生长法为以380℃生长的ε-Ga_(2)O_(3)薄膜作为缓冲层,而后在400~430℃继续生长ε-Ga_(2)O_(3)薄膜,观察到ε-Ga_(2)O_(3)(004)峰强度均高于单步生长法且半峰全宽均更低,在430℃时薄膜的(004)峰摇摆曲线半峰全宽达到0.49°。进一步改变单步生长法的压强,明确缓冲层有效促进ε-Ga_(2)O_(3)沿c轴生长。
王子铭张雅超冯倩刘仕腾刘雨虹王垚王龙张进成郝跃
关键词:金属有机物化学气相沉积蓝宝石衬底宽禁带半导体X射线衍射
一种用于金属有机物化学气相的一体式蒸发喷淋装置
本发明涉及金属氧化薄膜气相外延领域,具体为一种用于金属有机物化学气相的一体式蒸发喷淋装置。包括U型喷淋头、蒸发室、温度调节装置,U型喷淋头弯折部与蒸发室出气口连通,以使蒸发室与U型喷淋头形成一体,蒸发室内设有用于均...
陶伯万宋怡赵睿鹏陈曦
金属有机物化学气相颗粒污染及在线氯气清洗工艺研究
2024年
近耦合喷淋MOCVD在硅衬底GaN基LED外延生长中优势显著。外延中反应室内颗粒污染直接影响着晶体质量。通过自主设计加工全316L不锈钢近耦合MOCVD喷头,在近耦合喷淋MOCVD上首次实现了在线氯气清洗并完成工艺优化。利用激光尘埃粒子计数器对硅衬底GaN基LED外延过程中,不同工艺、反应室不同位置颗粒数量随时间变化、粒径分布进行研究。验证了近耦合喷淋MOCVD在线氯气清洗可行且效果良好。发现抹灰工艺会产生大量颗粒,10min颗粒难以稳定。颗粒污染主要来自加热器,且加热器处颗粒粒径较大。该结果可为外延工艺优化及相关设备开发提供参考。
杨超普方文卿李晓龙
关键词:金属有机物化学气相沉积颗粒物污染
一种金属有机物化学气相设备
本发明提供了一种金属有机物化学气相设备,包括设备主体,以及设置于所述设备主体内的喷淋头和样品台,所述喷淋头包括扩散腔和多个倾角喷管,多个所述倾角喷管在所述扩散腔下表面以阵列形式分布,且单个所述倾角喷管均与所述扩散腔中...
黎大兵陈洋孙晓娟张山丽蒋科贲建伟
一种金属有机物化学气相设备的复机方法
本申请实施例公开了一种金属有机物化学气相设备的复机方法,包括:对所述金属有机物化学气相设备的反应腔进行第一预处理,以对所述反应腔内的杂质进行清扫;向所述反应腔内通入铝源,对所述反应腔进行第二预处理,并在所述反应腔...
罗文博翁聪吴洪浩鲍传保刘兆
垂直式光辅助金属有机物化学气相装置及其沉方法
本发明公开了一种垂直式光辅助金属有机物化学气相装置及其沉方法。本发明采用光场垂直作用于层状反应剂气流上,光场与反应剂气流的作用路径短,减小了所需激光功率,降低了光辅助MOCVD装置的设计难度、提高了安全性;同时减少...
王新强陈兆营刘放盛博文李铎
垂直式光辅助金属有机物化学气相装置及其沉方法
本发明公开了一种垂直式光辅助金属有机物化学气相装置及其沉方法。本发明采用光场垂直作用于层状反应剂气流上,光场与反应剂气流的作用路径短,减小了所需激光功率,降低了光辅助MOCVD装置的设计难度、提高了安全性;同时减少...
王新强陈兆营刘放盛博文李铎
金属有机物化学气相反应器
一种金属有机物化学气相反应器,包括:反应腔,顶部包括气体喷淋头,气体喷淋头包括第一输入端口、第二输入端口和第三输入端口;前驱输送管道组,与多种前驱源连接;前驱汇合输入管道,与前驱输送管道组连通,用于汇合多种前...
王文胡建正郭泉泳郭世平
金属有机物化学气相反应器
一种金属有机物化学气相反应器,包括:反应腔,顶部包括气体喷淋头,气体喷淋头包括第一输入端口、第二输入端口和第三输入端口;前驱输送管道组,与多种前驱源连接;前驱汇合输入管道,与前驱输送管道组连通,用于汇合多种前...
王文胡建正郭泉泳郭世平
金属有机物化学气相设备的智能化研究
2021年
金属有机化合化学气相(MOCVD)设备深度嵌入信息技术,是高端芯片、新型传感器、工业控制计算机、智能仪器仪表与控制系统、工业软件、互联网技术、信息安全技术等的集成应用。通过对MOCVD装备的互联互通能力、自感知能力、自适应能力、自诊断能力、数据收集能力等五个方面的智能化水平进行研究,使其具备自感知、自诊断、自适应、自决策等功能。
王亮向晓静
关键词:MOCVD自诊断自适应

相关作者

沈光地
作品数:447被引量:988H指数:12
供职机构:北京工业大学
研究主题:半导体激光器 垂直腔面发射激光器 发光二极管 红外探测器 MOCVD
韩军
作品数:119被引量:208H指数:7
供职机构:北京工业大学
研究主题:MOCVD 金属有机物化学气相沉积 半导体激光器 金属有机物化学气相淀积 氮化镓
邓军
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供职机构:北京工业大学
研究主题:MOCVD 垂直腔面发射激光器 石墨烯 半导体激光器 红外探测器
颜建锋
作品数:16被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:非极性 GAN薄膜 氮化镓 金属有机物化学气相淀积 保护层
郝跃
作品数:2,605被引量:1,235H指数:13
供职机构:西安电子科技大学
研究主题:势垒层 电极 场板 高电子迁移率晶体管 氮化镓