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- 反应室及金属有机化学气相沉积设备
- 本实用新型公开了一种反应室及金属有机化学气相沉积设备，涉及沉积设备技术领域。该反应室包括腔体组件和弹性压紧组件，腔体组件内设容纳腔，容纳腔内设有隔热筒，隔热筒的两端与容纳腔的两端一一对应连接。弹性压紧组件设于容纳腔的一端...
- 曹建伟刘毅傅林坚朱亮鲁冲昊朱亿江
- 用于保存金属有机化学气相沉积原料的装置及方法
- 本发明涉及金属有机源保存装置技术领域，且公开了用于保存金属有机化学气相沉积原料的装置及方法，包括瓶身，所述瓶身的顶部设置有连接端，所述连接端的外侧设置有密封圈，所述瓶身的顶部设置有套在连接端与密封圈外侧的端盖，所述瓶身的...
- 吕虹霞
- 加热装置及金属有机化学气相沉积设备
- 本公开提供了一种加热装置及金属有机化学气相沉积设备，属于半导体器件领域。该加热装置，包括：边缘加热件和中间加热件；边缘加热件围设在中间加热件四周；边缘加热件靠近中间加热件的区域为镂空区域，位于镂空区域内的边缘加热件具有多...
- 从颖姚振龚逸品梅劲
- 一种金属有机化学气相沉积设备
- 本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域，具体涉及一种金属有机化学气相沉积设备，包括炉体、原料仓、尾气管道、尾气吸收罐和气密装置，气密装置包括定位圆环、移动圆环、移动组件、固定组件和辅助组件，定位圆环与炉体固定连接，并与尾...
- 王雨张杰周超前
- 喷淋冷却一体板及用于金属有机化学气相沉积的喷淋系统
- 本发明涉及一种喷淋冷却一体板及用于金属有机化学气相沉积的喷淋系统，包括本体，本体设置通入冷却媒介的第一冷却管路和第二冷却管路，且第一冷却管路和第二冷却管路的流入和流出路径相反；本体的中间设置喷淋通道，喷淋通道的两侧分别开...
- 王延恺迮建军
- 腔盖及金属有机化学气相沉积设备
- 本公开提供了一种腔盖及金属有机化学气相沉积设备，属于半导体技术领域。该腔盖包括外环部、内环部和驱动部。外环部具有多个外MO源管道和多个外载体管道；内环部位于外环部内，且与外环部同心布置，内环部具有多个内MO源管道和多个内...
- 陈张笑雄薛涛王群
- 金属有机化学气相沉积设备及其盖板组件
- 本实用新型公开一种金属有机化学气相沉积设备及其盖板组件，该金属有机化学气相沉积设备的盖板组件包括外侧盖板与中部盖板，沿金属有机化学气相沉积设备的基座的径向，外侧盖板位于基座的外侧，中部盖板位于外侧盖板的内侧，基座在外侧盖...
- 陈学敏林冠良赵志远
- 石墨基座及金属有机化学气相沉积设备
- 本公开提供了一种石墨基座及金属有机化学气相沉积设备，属于半导体技术领域。石墨基座，包括：基座主体、多个圆形槽和多个流场调控组件。基座主体为圆盘形结构；多个圆形槽均位于基座主体的一侧面，且各圆形槽的中心分布在至少两个圆形轨...
- 陈张笑雄胡烨伟李翠玲徐伟王群
- 半导体晶圆承载结构及金属有机化学气相沉积装置
- 本发明实施例提供一种半导体晶圆承载结构及金属有机化学气相沉积装置，所述半导体晶圆承载结构包括：承载盘；以及图案化导热部，设置于承载盘上，其中图案化导热部的至少一部分与承载盘的热传导系数不同。
- 赖彦霖吴俊德陈佶亨
- 托盘及其金属有机化学气相沉积反应器
- 一种托盘以及金属有机化学气相沉积反应器，其中，所述托盘，可沿其中心轴转动，具有第一托盘面和设于所述第一托盘面外围的第二托盘面，所述第二托盘面高于第一托盘面，所述第一托盘面内设有一凹陷于所述第一托盘面的基片槽，每个所述基片...
- 陶珩郭泉泳王家毅胡建正
