搜索到3671篇“ 等离子体化学气相沉积“的相关文章
- 微波等离子体化学气相沉积装置
- 本发明涉及一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括：波导装置；反应腔，设置在所述波导装置下方，与所述波导装置连接；冷却罩，与所述反应腔连接，用于对所述反应腔进行风冷散热；屏蔽罩，围设在所述反应腔外部，以防止所述反应腔内的电...
- 牛进毅苗岱
- 一种微波等离子体化学气相沉积装置
- 本发明公开了一种微波等离子体化学气相沉积装置，属于化学气相沉积装置技术领域，包括微波发生器以及与微波发生器相连接的三销钉，所述三销钉出口连接有模式转换器，模式转换器的另外两个出口分别连接有腔体以及短路活塞，所述腔体内设置...
- 刘永宁赵俊芳
- 一种微波等离子体化学气相沉积系统
- 本微波等离子体化学气相沉积系统，包括有：沉积室，设有水冷台；微波等离子激发机构，种子源，其特征在于，还包括有：氢燃料电池，供电端与所述种子源连接，用于向种子源供电；吸热制冷模块，设于所述氢燃料电池和水冷台之间，与所述氢燃...
- 胡付生张军安张天翊张军恒
- 一种微波等离子体化学气相沉积设备盖板
- 本实用新型公开了一种微波等离子体化学气相沉积设备盖板，解决了微波等离子体化学气相沉积设备进行维护时，盖板不便于拆卸的问题。本实用新型包括：盖板本体，设于盖板本体两侧的锁紧组件；锁紧组件包括：设于盖板本体内的壳体，转动设于...
- 袁稳郑怡袁良
- 一种等离子体化学气相沉积设备工作台
- 本实用新型公开了一种等离子体化学气相沉积设备工作台，其技术方案要点是：包括放置盒，所述放置盒的内部活动套设有放置板，所述放置板的顶面固定连接有等离子体化学气相沉积设备；格挡板，所述格挡板活动套设在所述放置盒的内部，所述格...
- 魏安求逯好峰叶小健
- 一种微波等离子体化学气相沉积谐振腔密封装置
- 本实用新型公开了提供一种微波等离子体化学气相沉积谐振腔密封装置，解决了现有技术中石英窗两端的密封性能降低，空气渗入沉积腔中的问题。本是用新型包括包括底板，设于底板上的壳体，设于底板上的环形石英窗，以及设于环形石英窗上用于...
- 郑怡李兵侯淅燕
- 微波等离子体化学气相沉积设备及改善镀膜质量的方法
- 本发明提供了一种微波等离子体化学气相沉积设备及改善镀膜质量的方法，属于微波技术领域。上述沉积设备包括机架、腔体、样品台及升降驱动装置，机架包括放电腔底板。腔体的底部与放电腔底板的上部连接，并围合形成放电腔。样品台设置在放...
- 刘文科李俊宏胡宗义
- 一种样品台均匀冷却装置和微波等离子体化学气相沉积系统
- 本实用新型提供一种样品台均匀冷却装置和微波等离子体化学气相沉积系统，涉及微波等离子体化学气相沉积相关领域。样品台均匀冷却装置包括样品台和设于样品台中的多组冷却机构。各组冷却机构均包括冷却管路、进液管路和出液管路。各组进液...
- 钱玉立王垒温简杰孟庆霞
- 基于准光镜面式915MHz的微波等离子体化学气相沉积装置
- 本发明公开了基于准光镜面式915MHz的微波等离子体化学气相沉积装置，所述准光镜面式微波谐振腔，利用准光模式变换器中的抛物面反射镜和椭圆面反射镜对微波聚焦汇聚的良好特性。与现有的椭球式微波谐振腔相比，本发明的结构更加简单...
- 王敏雪朱泽奇陈淦胡文博王春源姜义强
- 一种通过氮气等离子体化学气相沉积及酸化改性的活性碳纤维电极材料的制备方法及其应用
- 本发明公开了一种通过氮气等离子体化学气相沉积及酸化改性的活性碳纤维电极材料的制备方法及其应用，活性碳纤维电极材料的制备方法包括：采用片状的活性碳纤维对其进行清洗预处理后，预处理的活性碳纤维进行常温氮气等离子体化学气相沉积...
- 汤俊涛余文鑫董飞龙宋爽何志桥
