搜索到372篇“ 立方氮化硼薄膜“的相关文章
- 立方氮化硼薄膜结构、切削工具及其制造方法与设备
- 本申请涉及薄膜结构、立方氮化硼薄膜结构、切削工具及其制造方法与设备，所述薄膜结构包括初步结合层‑中间结合层‑NCD；其中，所述初步结合层包括CrN及TiN中的一项；所述中间结合层包括氧化薄膜及氮氧薄膜中的至少一项。采用初...
- 单永贤
- 立方氮化硼薄膜的制备及光学性质调控
- 2023年
- 立方氮化硼(cBN)作为超宽禁带半导体材料,由于具有一系列优异的物理化学性质而受到广泛关注。文章采用射频磁控溅射方法通过优化工艺参数成功地在单晶硅衬底上制备了cBN薄膜。在工作气体为氮氩混合气体、功率120 W、生长温度为600℃的条件下,在90~150 V的负偏压范围内制备的薄膜都是致密的,并且随着负偏压的增强,薄膜的沉积速率降低,立方相含量增加。所制备的cBN薄膜随着立方相含量增加,其光学禁带宽度也明显增大。当立方相体积分数为50%时,cBN薄膜的光学禁带可达到5.83 eV。这为cBN薄膜作为极端电子学材料在大功率半导体和光电子器件等领域的应用奠定了基础。
- 刘彩云殷红
- 关键词：立方氮化硼薄膜微观结构分子振动光学性质
- 纳米晶立方氮化硼薄膜的制备及其高热导性能研究
- 集成电路技术不断发展,应用领域不断拓展,已成为国际竞争的重要领域之一。但随着集成电路产品的广泛使用,电子元器件散热问题日益突出,发光二极管LED就是一个典型的例子。LED的优异发光效率使其成为最重要的照明器件,但是其独特...
- 王双钰
- 关键词：立方氮化硼薄膜磁控溅射发光二极管光输出功率
- 一种高质量立方氮化硼薄膜的制备装置
- 本实用新型公开了一种高质量立方氮化硼薄膜的制备装置，包括炉管、第一对接架和第二对接架，所述炉管的右侧中心轴承安装有第一对接架，且第一对接架套接安装在支撑柱的外侧，并且支撑柱的中端外表面设置有组装板，所述炉管的左侧中心轴承...
- 孔倩倩李振军
- 一种立方氮化硼薄膜的生产方法
- 一种立方氮化硼薄膜的生产方法属于化学合成领域。主要是为解决目前立方氮化硼薄膜制备在薄膜的黏附性、厚度和立方相含量等方面仍存在诸多问题而发明的。采用三等离子体循环CVD法；将原料BF<Sub>3</Sub>、NH<Sub>...
- 刘小秦
- 高质量立方氮化硼薄膜的射频磁控溅射制备及其半导体性能探索
- 立方氮化硼(c-BN)，是一种人工合成的超宽禁带半导体材料，其禁带宽度在6.1-6.4eV范围内，具有优异的物理化学性能，可通过掺杂形成n型或p型半导体材料，在力、热、光、电子学等领域有很大的应用潜力。此外，它具有仅次于...
- 刘彩云
- 关键词：立方氮化硼薄膜射频磁控溅射退火工艺
- 一种立方氮化硼薄膜的生产方法
- 一种立方氮化硼薄膜的生产方法属于化学合成领域。主要是为解决目前立方氮化硼薄膜制备在薄膜的黏附性、厚度和立方相含量等方面仍存在诸多问题而发明的。采用三等离子体循环CVD法；将原料BF<Sub>3</Sub>、NH<Sub>...
- 刘小秦
- 一种立方氮化硼薄膜的制备方法
- 本发明提供一种立方氮化硼薄膜的制备方法。将六方氮化硼粉末加入到二甲基甲酰胺中，超声分散，剥离得到二维氮化硼粉末；将二维氮化硼粉末和触媒材料进行充分混合，压制成圆柱状，放入顶压机高温高压处理，采用酸碱提纯即可得到立方氮化硼...
- 苗中正张立云苗爱民
- 一种超薄立方氮化硼薄膜的制备方法
- 本发明提供一种立方氮化硼薄膜的制备方法。以氨基钠和氧化硼作为反应前驱体，放入高压釜中，加热进行反应得到三方氮化硼粉体，常温下球磨，得到二维氮化硼；将二维氮化硼粉末和触媒材料进行充分混合，压制成圆柱状，放入顶压机高温高压处...
- 苗中正田华雨
- 不同温度下异质外延生长立方氮化硼薄膜及其原位掺杂
- 2018年
- 在金刚石（ 0 0 1） 基底上, 在4 0 0℃、 6 0 0℃和9 0 0℃温度条件下外延生长高质量的c -B N薄膜.在不同的沉积温度下的薄膜生长过程中掺入S i , 实现了n型原位掺杂.S i的浓度随着生长温度的降低而升高.系统地研究了不同的沉积温度和S i浓度对于c -B N外延薄膜导电性能的影响.结果表明, 在4 2 0℃下掺杂得到的薄膜电阻率低于在更高温度下制得的薄膜的电阻率.电子输运性能对于温度的依赖性以及其相应的理论拟合的结果表明, S i掺杂薄膜的激活能大约是0. 3e V, 提高S i的摻杂浓度可以提高深能级受主的补偿作用.
- 赵德鹤殷红
- 关键词：离子束辅助沉积立方氮化硼薄膜原位掺杂电子应用
相关作者
- 邓金祥
- 作品数：148被引量：134H指数：6
- 供职机构：北京工业大学
- 研究主题：立方氮化硼薄膜 氮化硼薄膜 立方氮化硼 射频溅射 射频磁控溅射
- 陈光华
- 作品数：271被引量：445H指数：11
- 供职机构：北京工业大学材料科学与工程学院
- 研究主题：立方氮化硼薄膜 立方氮化硼 金刚石薄膜 CVD 氢化非晶硅
- 张平
- 作品数：234被引量：760H指数：13
- 供职机构：国家工程研究中心
- 研究主题：摩擦学性能 多弧离子镀 活塞环 性能研究 摩擦学
- 谭俊
- 作品数：155被引量：410H指数：10
- 供职机构：装甲兵工程学院
- 研究主题：电刷镀 复合镀层 喷射电沉积 立方氮化硼薄膜 NI
- 蔡志海
- 作品数：134被引量：289H指数：9
- 供职机构：装甲兵工程学院
- 研究主题：活塞环 摩擦学性能 多弧离子镀 摩擦学 性能研究
