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简单气体自扩散碰撞截面与温度关系的模拟: 2025年; 气体的输运性质与分子间的碰撞过程有密切的关联,特别是碰撞截面对气体的自扩散、黏度和热导率有着重要的影响.本文采用分子动力学模拟方法系统研究了常压下单原子气体He、Ar,双原子气体N_(2)和多原子气体CH_(4)的自扩散系数及其温度依赖行为.基于简单气体的经典散射模型并结合模拟结果探讨了气体分子自扩散碰撞截面与温度之间的关系.本文结果对气体输运性质的教学与研究具有一定的指导意义.; 吕勇军李军刚刘鹏; 关键词：自扩散系数碰撞截面分子动力学模拟

一种基于分子碰撞截面闭合的分子团簇结构确定方法: 本发明公开了一种基于分子碰撞截面闭合的分子团簇结构确定方法。所述方法包括如下步骤：对分子团簇结构进行建模，利用量子化学方法计算求解自洽场方程，进行构型优化搜索，得到该分子团簇的几种稳定结构；对所述分子团簇的稳定结构进行电...; 王志彬韩玉泽徐正宁高健

基于电子群参数的气体碰撞截面确定方法、装置、终端设备及存储介质: 本发明公开了一种基于电子群参数的气体碰撞截面确定方法、装置、终端设备及存储介质，方法包括将待求电子群参数输入至预设的截面预测模型中得到碰撞截面；截面预测模型的训练包括根据历史碰撞截面求解得到第一电子群参数；以第一电子群参...; 孙东伟唐念黎晓淀李智

基于数据驱动方法反演C_(4)F_(7)N气体完整自洽碰撞截面集的研究: 2025年; 以C_(4)F_(7)N为代表的新型环保气体由于缺乏完整且物理自洽的电子-分子碰撞截面集,限制了对其微观放电机制的研究。该文应用数据驱动的方法,根据电子群参数与碰撞截面之间自洽的物理联系,基于LXCat数据库中大量碰撞截面数据,建立由电子群参数到碰撞截面的映射关系。在人工修正的C_(4)F_(7)N气体碰撞截面集和电子群参数实验数据的基础上,成功预测出一组新的完整且物理自洽的碰撞截面集,并评价预测C_(4)F_(7)N碰撞截面集的准确性、完备性和自洽性。结果表明,新的碰撞截面集计算的C_(4)F_(7)N气体电子群参数与实验值更加吻合。所采用的数据驱动方法可提高获得碰撞截面过程的效率,减弱人工修正过程中的主观性,为获得新型环保气体的碰撞截面提供新的思路。; 张博雅刘沛琼郝迈李兴文; 关键词：数据驱动碰撞截面

等离子体刻蚀建模中的电子碰撞截面数据: 2024年; 半导体芯片是信息时代的基石,诸如大数据、机器学习、人工智能等新兴技术领域的快速发展离不开源自芯片层面的算力支撑.在越来越高的算力需求驱动下,芯片工艺不断追求更高的集成度与更小的器件体积.作为芯片制造工序的关键环节,刻蚀工艺因此面临巨大的挑战.基于低温等离子体处理技术的干法刻蚀工艺是高精细电路图案刻蚀的首选方案,借助等离子体仿真模拟,人们已经能够在很大程度上缩小实验探索的范围,在海量的参数中找到最优工艺条件.电子碰撞截面是等离子体刻蚀模型的关键输入参数,深刻影响着模型预测结果的可靠性.本文主要介绍了低温等离子体建模的基本理论,重点强调电子碰撞截面数据在数值模拟中的重要作用.与此同时,本文概述了获取刻蚀气体截面数据的理论与实验方法.最后总结了刻蚀相关原子分子的电子碰撞截面研究现状,并展望了未来的研究前景.; 陈锦峰朱林繁; 关键词：干法刻蚀低温等离子体

基于R矩阵理论的气体分子弹性碰撞截面计算及其与绝缘强度关联分析: 2024年; 弹性碰撞截面是研究粒子间相互作用的关键参数之一,有助于揭示气体绝缘的微观机理.本文基于R矩阵理论计算了24种气体分子在0-15 eV下的弹性碰撞截面,提取了最低共振态能量、峰值等截面特征参数.对比了SF_(6),CF_(2)Cl_(2),i-C_(3)F_(7)CN碰撞截面的计算值与实验值,首次给出了i-C_(3)F_(7)CN在0--1 eV的低能碰撞截面;分析了F取代和碳链长度对截面参数的影响,最终研究了截面特征与绝缘强度间的关联性.结果表明,计算得到的各分子最低shape共振态能量与现有研究数据一致,均方误差为0.181;F取代时,共振态能量逐渐增大、峰值逐渐减小;碳链延长则与之相反.分子最低共振态能量、截面峰值与气体绝缘强度有较强关联,分子的最低共振态能量越低,对应的截面峰值越大,其绝缘强度越高.通过分析分子中低能弹性碰撞截面特征,可定性评估气体绝缘强度.; 张兴义杨帅尚述祥吴少博王航肖集雄; 关键词：绝缘强度矩阵碰撞截面共振态

飞行时间质量分析仪中的碰撞截面测量: 公开了一种飞行时间(ToF)质量分析仪，该ToF质量分析仪被配置为通过确定离子沿离子路径的飞行时间来确定离子的质荷比(m/z)。一种操作质量分析仪的方法包括：在第一操作模式下操作该质量分析仪；通过确定离子沿该离子路径的飞...; H·斯图尔特D·格林菲尔德

一种测量离子碰撞截面和质荷比的静电阱装置及测量方法: 本发明属于质谱技术领域，具体说是一种测量离子碰撞截面和质荷比的静电阱装置及测量方法，包括：数据采集模块、真空腔体A、真空腔体B、离子束发射器、离子透镜、反射镜电极组、感应电极组以及离子探测器；在所述真空腔室B内从左至右顺...; 陈平李海洋陈懿曹艺雪文宇轩

傅里叶离子回旋共振质谱内部离子的碰撞截面积测量方法: 本发明提供一种傅里叶离子回旋共振质谱内部离子的碰撞截面积测量方法，涉及质谱分析技术领域，本发明对FT‑ICR MS中离子的镜像电流时域数据进行预处理，滤除高斯噪声和闪烁噪声；根据预处理后的信号频谱，选择目标价态的离子对应...; 李大宇范艳影雷荣榛

一种环保气体的分子碰撞截面预测方法及装置: 本发明涉及分子碰撞技术领域，公开了一种环保气体的分子碰撞截面预测方法及装置。该方法通过脉冲汤逊实验获取待求气体的电子群参数，提取电子群参数的特征向量；通过获取待求气体的已知碰撞截面数据，并结合预设数据库中其他气体的碰撞截...; 唐念孙东伟张博雅李智刘沛琼郝迈

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