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一种石英谐振器线性度的优化设计方法
本发明公开了一种石英谐振器线性度的优化设计方法，属于石英谐振器技术领域，包括：选取石英晶体的切型，基于石英晶体的弹性性质和压电特性，确定所选切型对应转角的第一取值范围；基于石英晶体的温频特性，确定所选切型对应转角的第二取...
纪静赵萌杨洁王启舟朱婧王梓煜赵欣佳
石英谐振器关键技术研究
石英谐振器为电子产品提供稳定的时钟信号,被誉为电路的“心脏”。小型化是石英谐振器的发展趋势,其精准制造成为限制小型化石英谐振器的瓶颈。本文工作主要围绕小型化石英谐振器制造中结构设计、石英腐蚀关键技术,制备出厚度仅17.5...
龙雪松
关键词：湿法腐蚀石英谐振器
石英谐振器及其制造方法
本说明书实施例提供一种石英谐振器及其制造方法，属于谐振器技术领域。所述石英谐振器件包括：阻尼单元；第一敏感单元，与所述阻尼单元键合；第二敏感单元；所述阻尼单元还与所述第二敏感单元键合；其中，各敏感单元和所述阻尼单元均是石...
庄永河游超孙函子黄子军杨军刘大俊
一种环形类拱形石英谐振器
本发明涉及一种环形类拱形石英谐振器，包括：基板和方波区域；其中，所述方波区域设置在所述基板的表面；所述方波区域包括中心区域、多个环形凹槽和多个环形凸起；所述多个环形凹槽和所述多个环形凸起依次交替环绕在所述中心区域的外围；...
纪静赵萌刘琬琰王佳龙朱婧赵欣佳
一种环形类拱形石英谐振器
本发明涉及一种环形类拱形石英谐振器，包括：基板和方波区域；其中，所述方波区域设置在所述基板的表面；所述方波区域包括中心区域、多个环形凹槽和多个环形凸起；所述多个环形凹槽和所述多个环形凸起依次交替环绕在所述中心区域的外围；...
纪静赵萌刘琬琰王佳龙朱婧赵欣佳
一种石英谐振器晶片及制造方法
本发明公开了一种石英谐振器晶片及制造方法，包括：晶片本体和电极组件，晶片本体开设有第一凹槽和第二凹槽，第一凹槽和第二凹槽分别相对设置于晶片本体的两对侧，电极组件包括第一电极和第二电极，第一电极沿第一方向设置，第一电极连接...
万杨张小伟熊峰
一种石英谐振器线性度的优化设计方法
本发明公开了一种石英谐振器线性度的优化设计方法，属于石英谐振器技术领域，包括：选取石英晶体的切型，基于石英晶体的弹性性质和压电特性，确定所选切型对应转角的第一取值范围；基于石英晶体的温频特性，确定所选切型对应转角的第二取...
纪静赵萌杨洁 王启舟朱婧 王梓煜 赵欣佳
一种测量音叉石英谐振器晶体电气参数的测试电路
本发明涉及谐振器技术领域，提供一种测量音叉石英谐振器晶体电气参数的测试电路，晶振信号通过第一运算放大器反相放大，经过跨导放大器转换为电流信号，第十电阻变为电压信号加到待测晶体上，放大后的晶振信号经过第二运算放大器反相放大...
李伟 刘磊 韩德祥 曹艳傲 张旭 张矗垚
一种基于石英谐振器的光电机电耦合器制作的方法
本发明公开了一种基于石英谐振器的光电机电耦合器制作的方法。在石英晶体圆片的下表面沉积金属电极，金属电极总质量为M1；在石英晶体圆片的上表面依次沉积透明导电氧化物（TCO）/薄膜太阳电池功能层/氧化铟掺钨薄膜（IWO），整...
曾广根张鑫 邰运朴 张迪尤福 刘邦华
一种基于粘弹性模型的石英谐振器频率老化的预测方法
本发明提供了一种基于粘弹性模型的石英谐振器频率老化的预测方法，涉及石英晶体技术领域，本方法包括S1：建立初始矩阵，并将不同切型对应的角度代入初始矩阵进行坐标变换，得到对应切型的弹性矩阵和粘度矩阵；S2：依据石英晶体板中影...
谢龙涛朱军虎王骥
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田文杰
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研究主题：石英谐振器 谐振器 石英晶体谐振器 压电陶瓷振子 角速度传感器
冯冠平
作品数：204被引量：654H指数：12
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研究主题：传感器 力传感器 声表面波 石英谐振器 石英晶体
朱惠忠
作品数：106被引量：148H指数：7
供职机构：清华大学研究院
研究主题：力传感器 石英谐振器 石英谐振式力传感器 在线检测 转轴
董永贵
作品数：120被引量：438H指数：12
供职机构：清华大学机械工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室
研究主题：力传感器 石英谐振器 谐振器 石英谐振式力传感器 声表面波
庞慰
作品数：275被引量：7H指数：2
供职机构：天津大学
研究主题：谐振器 滤波器 压电层 电子设备 电极