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一种精度高的真空微电子电场传感器
本发明公开了一种精度高的真空微电子电场传感器,包括检测仪和放置组件,所述放置组件由顶盖和底盖组成所述顶盖和底盖组成的球形空间内设置有支撑架,所述支撑架上设置有若干静电感应组件,所述支撑架由中心球和若干定位杆组成,所述中心...
向美华
一种精度高的真空微电子电场传感器
本发明公开了一种精度高的真空微电子电场传感器,包括检测仪和放置组件,所述放置组件由顶盖和底盖组成所述顶盖和底盖组成的球形空间内设置有支撑架,所述支撑架上设置有若干静电感应组件,所述支撑架由中心球组成和若干定位杆,所述中心...
向美华
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一种集成真空微电子接头
本发明提供一种集成真空微电子接头,涉及微电子器件技术领域。该一种集成真空微电子接头,包括固定套筒,所述固定套筒的底端固定安装有散热筒,所述散热筒的外围开设有通风孔,所述散热筒的底端固定安装有绝缘管,所述绝缘管的内部固定连...
徐坚
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一种高过载保护的真空微电子压力传感器
本发明公开了一种高过载保护的真空微电子压力传感器,包括阴极弹性膜层、阳极弹性膜层和绝缘层,所述阴极弹性膜层带过载保护环,在阴极弹性膜层内设有真空腔和硅场致发射阴极锥尖阵列,其过载保护环与硅场致发射阴极锥尖阵列一体化...
符小平
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高精度真空微电子加速度传感器及接口电路研究
型加速度传感器,特别是基于机电系统(MEMS)的加速度传感器广泛应用于汽车安全、导航系统、航空航天、军事、空间重力等核心领域。目前,高精度型加速度传感器更是近年来研究的热点。因此,进行基于易集成、抗干扰、检测精度...
韦凯
关键词:加速度传感器真空微电子接口电路
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一种集成真空微电子接头
本发明提供一种集成真空微电子接头,涉及微电子器件技术领域。该一种集成真空微电子接头,包括固定套筒,所述固定套筒的底端固定安装有散热筒,所述散热筒的外围开设有通风孔,所述散热筒的底端固定安装有绝缘管,所述绝缘管的内部固定连...
徐坚
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一种真空微电子压力传感器
本发明公开了一种真空微电子压力传感器,包括传感器主体,传感器主体包括定位底座和壳体,定位底座表面内部设置有两个联通槽,联通槽内部设置有电极引线,电极引线一端和引线端子连接在一起,电极引线另一端和金线电极连接在一起,金线电...
强俊阜稳稳孔智慧陈恩涛盛周璇彭壮李远洋
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集成真空微电子结构及其制造方法
本发明的各个实施例涉及集成真空微电子结构及其制造方法。描述了一种集成真空微电子结构,该结构包括:高掺杂半导体衬底;置于所述掺杂半导体衬底上方的第一绝缘层;置于所述第一绝缘层上方的第一导电层;置于所述第一导电上方的第二绝缘...
D·G·帕蒂G·格拉索
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一种新型真空微电子压力传感器
本发明公开了一种新型真空微电子压力传感器,包括传感器主体,传感器主体包括定位底座和壳体,定位底座表面内部设置有两个联通槽,联通槽内部设置有电极引线,电极引线一端和引线端子连接在一起,电极引线另一端和金线电极连接在一起,金...
强俊阜稳稳孔智慧陈恩涛盛周璇彭壮李远洋
集成真空微电子器件及其制造方法
本公开描述了一种集成真空微电子器件(1、100、101),其包括:高掺杂半导体衬底(11);至少一个绝缘层(12、93、95),被布置在所述掺杂半导体衬底(11)上方;真空沟槽(19),被布置在所述至少一个绝缘层(12、...
D·帕蒂
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相关作者

夏善红
作品数:423被引量:623H指数:12
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:电场传感器 微型电场传感器 屏蔽电极 电场 传感器
朱长纯
作品数:443被引量:1,578H指数:20
供职机构:东华大学
研究主题:碳纳米管 场发射 场致发射 碳纳米管薄膜 丝网印刷
温志渝
作品数:400被引量:1,019H指数:16
供职机构:重庆大学
研究主题:微型光谱仪 MEMS 光谱分析 微机电系统 真空微电子
罗恩泽
作品数:54被引量:63H指数:4
供职机构:西安电子科技大学
研究主题:场致发射 高温超导体 真空微电子器件 场发射 真空微电子学
温中泉
作品数:169被引量:288H指数:10
供职机构:重庆大学
研究主题:超分辨 远场 透镜 焦斑 真空微电子