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一种电子束蒸发装置
本实用新型属于真空室技术领域,尤其涉及一种电子束蒸发装置,包括真空室门和真空腔体,真空室门固定安装于真空腔体,真空腔体侧面固定安装有自动均匀挡板,真空腔体内部设置有旋转驱动,真空腔体一端侧面安装有真空泵系统。该电子束蒸发...
魏国军安永王培元
一种电子束蒸发镀膜设备及其应用方法
本发明涉及一种电子束蒸发镀膜设备及其应用方法,包括蒸发腔室、电子枪系统、第一抽真空系统、加热台机构、样品台机构、离子源系统;样品台机构与加热台机构转动连接,样品台机构包括用于夹持基片的基片夹持部;离子源系统与蒸发腔室顶部...
程厚义李炎杜寅昌李玉婷
用于电子束蒸发熔炼的蒸发器装置
本发明公开了一种用于电子束蒸发熔炼的蒸发器装置,包括支撑组件、水冷挡板组件、极靴组件、光阑组件、热屏蔽组件和坩埚组件;所述水冷挡板组件设置于支撑组件上方,坩埚组件设置于水冷挡板组件的中间;光阑组件设置于水冷挡板组件的顶部...
闫超张涛赵国华罗立平许文强
坩埚及电子束蒸发镀膜系统
本申请公开一种坩埚及电子束蒸发镀膜系统。坩埚包括:第一分体和第二分体,第二分体为导电体,第一分体包括防爬埚的第一环形件;沿坩埚的高度方向,第一环形件不低于第二分体;第一分体与第二分体热压或烧结成一个整体。电子蒸镀过程中,...
黄涛王志强蔡永安白泽文徐希翔
一种坩埚及电子束蒸发镀膜系统
本申请公开一种坩埚及电子束蒸发镀膜系统,涉及镀膜技术领域。该坩埚包括第一分体和第二分体,第一分体和第二分体之间通过热膨胀、胶粘或嵌套的方式连接,第一分体为防爬埚分体,第二分体为导电体;第一分体包括第一环形侧板,第一环形侧...
黄涛王志强蔡永安白泽文
电子束蒸发设备消除散射电子及二次电子的装置及方法
本申请涉及真空镀膜设备技术领域,尤其是涉及一种电子束蒸发设备消除散射电子及二次电子的装置及方法,电子束蒸发设备消除散射电子及二次电子的装置包括设置在主鼓和坩埚之间的阳极板,阳极板围设在坩埚的周边,阳极板设置有至少一个、至...
张艳鹏马永尹翔付强于文宝曹志强刘旭
一种电子束蒸发镀膜用镀锅
本申请涉及半导体设备的技术领域,尤其涉及一种电子束蒸发镀膜用镀锅,包括真空腔体,真空腔体内底部设有电子束发射孔,真空腔体内设有坩埚,真空腔体内转动连接有支架,支架上连有若干行星锅,行星锅中心设有行星轴,行星轴通过转动架和...
刘刚严帅帅冷祥魏明
一种电子束蒸发镀膜机用镀膜修正系统及方法
本发明涉及镀膜修正技术领域,具体为一种电子束蒸发镀膜机用镀膜修正系统及方法,包括镀膜数据采集单元、云存储单元、镀膜数据分析单元、镀膜偏差监测单元以及镀膜调整修正单元,本发明通过对镀膜机运行时的影像进行三维成像处理并比对,...
罗伟徐鸣杜楠安建昊唐欢欢
离子辅助电子束蒸发SnSe薄膜的研究进展
2025年
硒化锡(SnSe)作为一种环保型二维层状材料,其带隙特性通常被认为接近于直接带隙半导体,表明它的导带极小值和价带极大值非常接近或完全重合,具有优异的光电特性以及不错的光吸收系数。因此,SnSe薄膜适合用作光电材料,在光伏和光电器件中具有广泛的应用前景。本文首先介绍了SnSe材料的光电特性,其次探究了近几年国内外SnSe薄膜的研究进展,总结分析了SnSe薄膜制备技术,最后总结并展望了SnSe薄膜在太阳能电池、光电探测器等领域的应用状况。SnSe薄膜会在未来光伏和光电器件中发挥不可替代的作用。Tin selenide (SnSe), as an environmentally friendly two-dimensional layered material, is generally considered to have bandgap characteristics similar to direct bandgap semiconductors, indicating that its conduction band minimum and valence band maximum are very close or completely overlapped, and it has excellent optoelectronic properties and good light absorption coefficient. Therefore, SnSe thin films are suitable for use as optoelectronic materials and have broad application prospects in photovoltaics and optoelectronic devices. This article first introduces the optoelectronic properties of SnSe materials, then explores the research progress of SnSe thin films at home and abroad in the past years, summarizes thin film preparation technologies suitable for SnSe thin films, and finally summarizes and prospects the application status of SnSe thin films in solar cells, photodetectors and other fields. SnSe thin films will be play an irreplaceable role in photovoltaic and optoelectronic devices in the future.
张驰周金辉李昕洋赵志斌张美阳谭付越洋郭钲杰杨璨源陈洁孙康迅邱美叶孔惠颖郑照轩罗薇张林玉徐东昕曲轶李再金
关键词:光电特性太阳能电池光电探测器
电子束蒸发镀膜装置
一种电子束蒸发镀膜装置包括安装锅、坩埚盘以及电子束蒸发源,安装锅设有多个安装孔,各安装孔用于安装待镀膜的晶圆衬底;坩埚盘设有多个坩埚,所述多个坩埚用于盛放不同类型的镀膜材料;电子束蒸发源用于发出电子束,以将坩埚盘上的多个...
李萌萌黄添萍李兆营

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邵建达
作品数:985被引量:1,466H指数:17
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:激光损伤 激光损伤阈值 光学薄膜 光学元件 面形
范正修
作品数:504被引量:1,596H指数:19
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光学薄膜 激光损伤阈值 激光损伤 多层膜 薄膜光学
廖志君
作品数:52被引量:66H指数:5
供职机构:四川大学
研究主题:碳化硼 电子束蒸发 电子束 蒸发制备 蒸发设备
伍登学
作品数:54被引量:112H指数:5
供职机构:教育部
研究主题:电子束蒸发 碳化硼 尖晶石 基片温度 电子束
付学成
作品数:52被引量:41H指数:3
供职机构:上海交通大学
研究主题:电子束蒸发 坩埚 金膜 磁控溅射 原子层沉积