相关作者
- 宁兆元
- 作品数：128被引量：467H指数：14
- 供职机构：苏州大学
- 研究主题：等离子体 氟化非晶碳薄膜 ECR 感应耦合等离子体 光学带隙
- 程珊华
- 作品数：53被引量：286H指数：12
- 供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）江苏省薄膜材料重点实验室
- 研究主题：氟化非晶碳薄膜 等离子体 F ITO膜 A-C
- 叶超
- 作品数：80被引量：190H指数：9
- 供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）
- 研究主题：氟化非晶碳薄膜 低介电常数 F 等离子体 介电
- 肖剑荣
- 作品数：92被引量：125H指数：5
- 供职机构：桂林理工大学
- 研究主题：射频功率 大学物理 光学带隙 F PECVD
- 辛煜
- 作品数：104被引量：171H指数：7
- 供职机构：苏州大学
- 研究主题：感应耦合等离子体 等离子体 发射光谱 A-C 氟化非晶碳薄膜
