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毛细管放电46.9nm极紫外激光应用研究进展: 2024年; 毛细管放电极紫外激光是一种小型化的纳秒极紫外激光光源。相比自由电子激光和同步辐射等短波长光源,该光源具有运行成本低、单脉冲能量高和机时充足等显著优势。随着毛细管放电极紫外激光光源的发展,其输出已提高至深度饱和区,并且实现了重复频率输出、多波长输出等多样化输出方式。小型化的灵活性和优质的输出参数使其逐渐成为进行极紫外激光应用研究的理想光源。本文介绍了自1994年毛细管放电极紫外激光成功输出至今,该光源在微纳结构加工、物质成分检测、生物科学以及高分辨成像等领域的前沿应用。在微纳加工方面,极短的波长和极小的能量衰减深度使得该光源能够在纳米量程内进行材料的刻蚀。同时,较长的激光脉宽增加了极紫外激光诱导自组织微纳结构的可能性。在物质成分检测方面,极紫外激光的高能量光子能够以单光子电离材料表面,结合飞行时间质谱仪测量纳米尺度范围内的材料成分,便可实现超高分辨的物质组成分布检测。在生物科学领域,极紫外激光能够实现对微观生物样本的三维成分扫描,获得更多的表征信息。在高分辨成像方面,基于极紫外激光的短波长和良好的相干性,以Gabor同轴等方法进行高分辨成像能达到接近照明光水平的成像分辨率。已有的应用成果表明,毛细管放电极紫外激光是探索微观世界、制造微观结构的有力工具。在人类对短波长光源需求日益增长的今天,毛细管放电极紫外激光将有更多的机会展现它的应用价值和优势。; 崔怀愈申玉杰赵东迪安博赵永蓬; 关键词：激光技术毛细管放电高分辨成像

毛细管放电三束等离子体耦合机制的研究: 张彧熙

一种毛细管放电等离子体耦合发光结构: 本发明公开了一种毛细管放电等离子体耦合发光结构，涉及极紫外光刻领域，旨在解决现有技术中发光功率低，杂光多的问题，采用的技术方案是，包括毛细管，毛细管位于放电室内，毛细管两端分别设有第一电极和第二电极，且第一电极和第二电极...; 张兴强赵军滨高丽娜

一种毛细管放电极紫外光刻双真空光源装置: 本发明提供了一种毛细管放电极紫外光刻双真空光源装置，涉及极紫外光刻光源技术领域，旨在解决陶瓷毛细管放电时，产生电极碎屑、管壁碎屑，存在光噪声的问题，采用的技术方案是，包括毛细管和电极，毛细管的两端还设有电极，毛细管外部还...; 张兴强赵军滨高丽娜

重复频率毛细管放电Xe等离子体极紫外光源研究: 极紫外(EUV)光刻技术是集成电路制造的关键环节,是制造集成电路最重要的工艺之一。我国目前正面对来自美国的技术封锁,光刻技术因而成了一项难度极大且至关重要的卡脖子技术。本课题组在早期毛细管放电激光研究基础上,建立了一套毛...; 李家祺; 关键词：毛细管放电 Z箍缩放电等离子体

不同气压下毛细管放电三束等离子体发光功率: 2023年; 在给定毛细管结构参数和放电条件的情况下,计算了毛细管放电三束等离子体的发光功率,并在毛细管放电三束等离子体极紫外光刻光源演示装置上进行了实测,测量数据与理论值基本相符。结果表明:三束等离子体发光的过程中,由于不同氮气气压下的光谱吸收和光学屏蔽极大削弱了极紫外光的输出能量,导致毛细管放电三束等离子体的发光功率随氮气气压的变化表现出特有的规律;与毛细管放电单束等离子体相比,极大输出对应的最佳气压明显提高。; 张彧熙蔡青张兴强; 关键词：毛细管放电

毛细管放电瞬态高热负荷对钨靶侵蚀损伤特性研究: 2023年; 托卡马克装置高约束运行模式(H模)会周期性地爆发边缘局域模(edge-localized mode,ELM)产生瞬态高热负荷侵蚀第一壁材料。该文使用毛细管等离子体等效模拟ELM高热负荷,并对三电极毛细管结构进行优化;结合仿真总结毛细管等离子体热负荷规律,并提出相应定标关系,以此建立高热负荷靶面冲击实验流程,对在ELM等价的热负荷作用下钨靶板材料侵蚀特性进行研究;获得在单次、重频瞬态热负荷作用下钨靶板融化、开裂、溅射等侵蚀特征,并得到开裂热负荷阈值为1.4GW×m^(-2)。基于钨材料韧脆转变温度,分析在瞬态热负荷下钨靶材局部变形与残余应力累积的物理机制,认为材料烧蚀主要为重频热冲击积累导致的材料融化和溅射。; 李伟昊贺玉哲蒋仕陈立李兴文; 关键词：毛细管放电磁约束聚变

毛细管放电类氖氩46.9nm激光双程放大和多程放大研究: 46.9nm软X射线激光具有波长短、单光子能量高等优点,目前已经被应用于激光微纳加工、激光显微成像等多个领域。受限于很难找到合适的后反镜与输出镜,目前国际上以等离子体为增益介质的软X射线激光普遍采用无谐振腔的工作模式,并...; 赵东迪; 关键词：毛细管放电双程放大多程放大

毛细管放电类氖氩72.6 nm激光的最佳条件研究: 毛细管放电等离子体激光器作为X射线激光器具有输出稳定、电光转换效率高、结构简单、造价低等优点,被广泛应用于材料表面研究、X射线显微技术等领域。目前,在国际上以类氖氩等离子体作为增益介质的毛细管放电X射线激光器已经被深入研...; 白云松; 关键词：X射线激光毛细管放电 Z箍缩

基于毛细管放电等离子体产生瞬态高热负荷的实验研究被引量：1: 2022年; 托卡马克装置在运行时出现的第I类边缘局域模(edge-localizedmode,ELM)会产生瞬态高热负荷,但很难直接在现有装置上对ELM热负荷进行研究。该文提出基于毛细管放电等离子体等效模拟ELM瞬态高热负荷的思路,并研制可重复频率运行的毛细管射流等离子体产生装置,实现1~10Hz连续可调、稳定运行。然后,建立毛细管等离子体射流的光学诊断系统,结合Bartels及其他光谱分析方法,获得等离子体射流形态、电子温度、密度等关键参数,解决难以分析自蚀谱线的问题。最后,建立基于薄膜量热计的热负荷测量系统,其具有高精度、快响应速度的优点,可直接有效测定热负荷。结果表明,在-(1~2)kV充电电压、50Pa干燥空气条件下,瞬态热负荷功率可达GW·m^(-2)量级,有效均匀面积为5cm^(-2)以上,电子密为度1.78×10^(23)m^(-2),能够满足ELM高热负荷的核心指标要求。; 蒋仕杨伟鸿陈立李伟昊李兴文石桓通; 关键词：毛细管放电磁约束聚变光谱

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