搜索到132738篇“ 扫描电子显微镜“的相关文章
- 扫描电子显微镜被引量：30
- 2003年
- 随着科学技术的发展进步,人们不断需要从更高的微观层次观察、认识周围的物质世界.细胞、微生物等微米尺度的物体直接用肉眼观察不到,显微镜的发明解决了这个问题.目前,纳米科技成为研究热点,集成电路工艺加工的特征尺度进入深亚微米,所有这些更加微小的物体光学显微镜也观察不到,必须使用电子显微镜.电子显微镜可分为扫描电子显微镜简称扫描电镜(SEM)和透射电子显微镜简称透射电镜(TEM)两大类.
- 刘剑霜谢锋吴晓京陈一胡刚
- 关键词：扫描电子显微镜二次电子
- 一种监控扫描电子显微镜散焦的方法及系统
- 本发明公开了一种监控扫描电子显微镜散焦的方法及系统，方法包括：使用扫描电子显微镜，对控片上同一位置的图形关键尺寸进行测量，以得到测量值；将每次测量得到的当前测量值与前一次测量得到的相邻测量值进行差值计算，得到测量差值；将...
- 周兆来请求不公布姓名王杰
- 一种扫描电子显微镜
- 本实用新型公开了一种扫描电子显微镜系统，包括：电子源，用于产生电子束；电透镜，与电子源之间产生加速汇聚场，用于增加所述电子束的运动速度并对电子束进行第一次汇聚；第一磁透镜，用于对电子束进行第二次汇聚；第二磁透镜，用于对电...
- 王鹏夏长城
- 一种新型扫描电子显微镜
- 本实用新型公开了显微镜技术领域的一种新型扫描电子显微镜，包括底座，所述第二支座的表面固定开设有第二滑槽，所述第二滑槽的内侧转动连接有第二丝杆，所述料台底部滑动设于第二滑槽的内部，且与第二丝杆的表面螺纹连接，所述料台的一侧...
- 逄昆崔洪芝崔中雨刘飞亚
- 一种扫描电子显微镜载台
- 本实用新型公开了一种扫描电子显微镜载台，包括工作台、开设于工作台两侧的插槽以及设置于工作台两侧的夹持组件，所述夹持组件包括定位条、固定于定位条侧壁的两个导杆，所述导杆另一端插设至插槽内，所述导杆端部固定连接有挡片，所述挡...
- 程瑞
- 扫描电子显微镜以及图像生成方法
- 本发明涉及以电子束扫描晶圆、掩膜、面板、基板等工件而生成该工件的图像的扫描电子显微镜。本发明的扫描电子显微镜具备：偏转器(17、18)，它们使电子束偏转而以电子束扫描工件(W)上的目标区域(T)；以及偏转控制部(22)，...
- 齐藤尚也久保田大辅
- 扫描电子显微镜的自动对焦方法
- 本发明涉及利用隔行扫描的扫描电子显微镜的自动对焦技术。扫描电子显微镜的自动对焦方法如下：一边使电子束的扫描位置在与扫描方向垂直的方向上错开规定的多个像素，一边用电子束反复扫描所述试样，由此生成在试样的表面上形成的图案(1...
- 久保田大辅
- 扫描电子显微镜中巧用低角电子成像
- 2025年
- 利用扫描电子显微镜对不导电样品的成像过程中,荷电效应会导致图像产生畸变、漂移、亮点亮线等缺陷。二次电子成像形貌立体感较好但是容易产生荷电现象,背散射电子成像受荷电影响较小但是一般形貌衬度较差。文章借助Apreo2S场发射扫描电镜,针对不导电样品在不镀膜的情况下,通过优化工作模式、探测器和工作距离等参数来调控电子信号,巧用低角电子,得到形貌衬度明显的高分辨图像。从二次电子角度出发,使用Optipan模式配合T2探测器通过缩短工作距离以收集低角二次电子从而减弱荷电效应。从背散射电子角度出发,放大倍数较低时可使用Optipan模式配合ETD探测器获得形貌立体感好的高分辨图像,放大倍数高时可使用Immersion模式配合T1探测器缩短工作距离下以得到最佳图像。
- 李琳刘丽月陈燕
- 关键词：扫描电子显微镜荷电效应
- 一种扫描电子显微镜金相模具快速安装夹具
- 本实用新型涉及金相模具的显微镜观察分析，具体是涉及一种扫描电子显微镜金相模具快速安装夹具，包括绝缘观察台和导电铜箔，所述绝缘观察台用于置入观察物，所述导电铜箔活动地配置在所述绝缘观察台上以在观察时压合在观察物上，解决了现...
- 孙良
- 六轴联动运动平台、扫描电子显微镜及其应用
- 本发明提供了一种六轴联动运动平台，扫描电子显微镜技术领域。本发明包括：X轴直线运动结构，设置于基座上；Y轴直线运动机构，设置于基座上，用于提供龙门架沿Y方向的运动；Z轴直线运动结构，设置于龙门架上；R轴旋转结构，设置于X...
- 袁良经王竞岩陈志明连志强郎永辉张月新薛敬宇杨宇聪李明惠郭沫远
