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微波等离子体火炬产生装置
本公开提供一种微波等离子体火炬产生装置，包括：输入波导，用于输入微波；渐变波导，包括第一渐变波导段和第二渐变波导段，第一渐变波导段和第二渐变波导段用于对微波的功率进行分配得到第一微波和第二微波，其中，第一微波的功率高于第...
丁海兵王彬彬吉忠浩陆登峰肖韧唐科
微波等离子体化学气相沉积装置
本发明涉及一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括：波导装置；反应腔，设置在所述波导装置下方，与所述波导装置连接；冷却罩，与所述反应腔连接，用于对所述反应腔进行风冷散热；屏蔽罩，围设在所述反应腔外部，以防止所述反应腔内的电...
牛进毅苗岱
微波等离子体CVD装置
微波等离子体CVD装置(1)具备：腔室(10A)；载置台(110A)，在俯视腔室(10A)时设于腔室(10A)的中心部；同轴构造部(80A)，包括在俯视腔室(10A)时位于腔室(10A)的中心部且与腔室(10A)的内部共...
山田英明茶谷原昭义杢野由明
一种微波等离子体化学气相沉积装置
本发明公开了一种微波等离子体化学气相沉积装置，属于化学气相沉积装置技术领域，包括微波发生器以及与微波发生器相连接的三销钉，所述三销钉出口连接有模式转换器，模式转换器的另外两个出口分别连接有腔体以及短路活塞，所述腔体内设置...
刘永宁赵俊芳
一种微波等离子体化学气相沉积系统
本微波等离子体化学气相沉积系统，包括有：沉积室，设有水冷台；微波等离子激发机构，种子源，其特征在于，还包括有：氢燃料电池，供电端与所述种子源连接，用于向种子源供电；吸热制冷模块，设于所述氢燃料电池和水冷台之间，与所述氢燃...
胡付生张军安张天翊张军恒
一种微波等离子体化学气相沉积设备盖板
本实用新型公开了一种微波等离子体化学气相沉积设备盖板，解决了微波等离子体化学气相沉积设备进行维护时，盖板不便于拆卸的问题。本实用新型包括：盖板本体，设于盖板本体两侧的锁紧组件；锁紧组件包括：设于盖板本体内的壳体，转动设于...
袁稳郑怡袁良
一种半导体废气微波等离子体净气装置及方法
本发明提供了一种半导体废气微波等离子体净气装置及方法，其包括：气体分解机构，其包括分解管道、进气管道及微波等离子体火炬头，进气管道连通分解管道内部，微波等离子体火炬头的工作端设置于反应腔内部；喷淋机构，其包括水箱、洗涤塔...
周益斌王丹柴正发岳仁义杨昌权陈沾兴
一种微波等离子体化学气相沉积谐振腔密封装置
本实用新型公开了提供一种微波等离子体化学气相沉积谐振腔密封装置，解决了现有技术中石英窗两端的密封性能降低，空气渗入沉积腔中的问题。本是用新型包括包括底板，设于底板上的壳体，设于底板上的环形石英窗，以及设于环形石英窗上用于...
郑怡李兵侯淅燕
一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置
本实用新型公开了一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置，属于微波屏蔽技术领域，针对了不便根据不同大小的设备调整支撑柱的高度和位置，降低了吸波材料隔板的安装效率的问题，包括操作台，操作台底面开设有四个呈圆周分布的底...
魏安求逯好峰叶小健
一种微波等离子体辅助金属与水反应的实验平台
本申请公开了一种微波等离子体辅助金属与水反应的实验平台，包括燃烧调节系统、燃料综合供应系统、微波等离子体发生系统、诊断系统和综合控制系统；其中，所述燃烧调节系统包括由下至上依次连通的预混腔室和燃烧腔室，所述预混腔室内设置...
霍超胡杰何一方徐宏博刘佩进
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汪建华
作品数：372被引量：850H指数：12
供职机构：武汉工程大学材料科学与工程学院
研究主题：化学气相沉积 金刚石薄膜 金刚石膜 微波等离子体 金刚石
马志斌
作品数：208被引量：391H指数：9
供职机构：武汉工程大学
研究主题：金刚石薄膜 金刚石 微波等离子体化学气相沉积 化学气相沉积 单晶金刚石
张贵新
作品数：206被引量：998H指数：18
供职机构：清华大学
研究主题：微波等离子体 等离子体 微波 表面电荷 无极灯
翁俊
作品数：81被引量：125H指数：6
供职机构：武汉工程大学材料科学与工程学院
研究主题：微波等离子体 金刚石膜 化学气相沉积 MPCVD 金刚石薄膜
李成明
作品数：339被引量：444H指数：11
供职机构：北京科技大学
研究主题：金刚石 金刚石膜 微波等离子体化学气相沉积 单晶金刚石 金刚石薄膜