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用于微机械系统的制造方法和微机械系统
本发明提出一种用于微机械系统的制造方法和微机械系统。包括以下步骤：将第一微机械功能层施加在衬底上；在第一各向异性的蚀刻步骤中在第一微机械功能层的第一区域中构造多个二维布置的、彼此间隔开的、长形的蚀刻沟，其中，蚀刻沟在一个...
J·赖因穆特T·弗里德里希
微机械装置及微机械系统
公开了一种微机械装置及微机械系统。该装置包括：本体；间隔元件，耦接至本体；第一电极结构，耦接至间隔元件且叠加至本体并与本体交叠且与本体电绝缘，第一电极结构、本体和至少一间隔元件界定具有在间隔元件的相应侧壁中相对的侧壁间延...
D·朱斯蒂M·费雷拉A·S·萨沃亚F·夸利亚
一种双轴微机械系统换能器结构
本实新型提供一种双轴微机械系统换能器结构，其包括：固定基板；可移动基板，其悬置于固定基板上方；多个第一锚定结构，其设置于可移动基板的外侧；多组折叠梁，其设置于可移动基板的外侧，且每组折叠梁均包括相互垂直正交的第一折叠梁和...
苏云鹏凌方舟蒋乐跃丁希聪
用于微机械系统的制造方法和微机械系统
本发明提出一种用于微机械系统的制造方法和微机械系统。包括以下步骤：将第一微机械功能层施加在衬底上；在第一各向异性的蚀刻步骤中在第一微机械功能层的第一区域中构造多个二维布置的、彼此间隔开的、长形的蚀刻沟，其中，蚀刻沟在一个...
J·赖因穆特 T·弗里德里希
一种双轴微机械系统换能器结构
本发明提供一种双轴微机械系统换能器结构，其包括：固定基板；可移动基板，其悬置于固定基板上方；多个第一锚定结构，其设置于可移动基板的外侧；多组折叠梁，其设置于可移动基板的外侧，且每组折叠梁均包括相互垂直正交的第一折叠梁和第...
苏云鹏凌方舟蒋乐跃丁希聪
一种室温多稳态平衡微机械系统及其实现方法
本发明涉及一种室温多稳态平衡微机械系统及其实现方法。该微机械系统包括一对间距为微米量级的相互平行的平板1和平板2；平板1为电性双曲色散特异材料，由金属材料薄层和介质材料薄层在z轴方向交替重叠构成的一维周期性层状结构；平板...
宋戈许静平
微机械系统和用于制造微机械系统的方法
微机械系统和用于制造微机械系统的方法。制造微机械系统的方法包括在FEOL工艺中在晶体管区域中形成晶体管的步骤。在FEOL工艺之后，在晶体管区域中沉积保护层，其中保护层包括隔离材料。至少在不是晶体管区域的区域中形成结构化牺...
S.比泽尔特B.宾德H.弗勒利希T.考奇M.施特格曼M.福格特
光纤光路耦合微机械系统
本实用新型公开一种光纤光路耦合微机械系统，其通过在无线网桥上设置与网桥通信模块电性连接的主从控制模块、编号编辑模块；以及显示模块，并预设有主从控制模块状态与网桥主从模式的对应列表、编号编辑模块的按键次数与设定编号的对应列...
廉正刚谢利华史建伟皮亚斌
具有止挡元件的微机械系统
本发明涉及一种微机械系统，其包括：基底；功能元件，该功能元件相对于基底能运动地受支承；弹性止挡元件。止挡元件具有第一端部和第二端部，该第一端部安装在所述基底上，该第二端部设立成用于在功能元件以预确定的量值从静止位置中偏转...
J·米勒
微机械系统和用于制造微机械系统的方法
本公开的实施例涉及一种微机械系统和用于制造微机械系统的方法，该方法包括：在前道制程(FEOL)工艺中在晶体管区域中形成晶体管；在FEOL工艺之后，形成牺牲层；对牺牲层进行结构化以形成经结构化的牺牲层；形成至少部分地覆盖经...
T·考茨施H·弗雷利施M·福格特M·施特格曼B·宾德
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供职机构：东南大学
研究主题：MEMS 风速风向传感器 无源无线 微机电系统 微电子机械系统
蒋明霞
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张海霞
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王磊
作品数：299被引量：109H指数：5
供职机构：东南大学
研究主题：喇叭天线 天线 天线口径 介质填充 金属化