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一种微型光谱仪
本发明涉及一种微型光谱仪,包括:发出至少两种光波长的光源组件,用于改变光路方向的光学元件,用于探测光信号的探测器,其特征在于:还包括:衰减装置,所述衰减装置位于探测器和光学元件之间,用于将光学元件导出的指定波长的光经由所...
滕磊
一种微型光谱仪结构
本实用新型涉及光谱仪技术领域,具体的说是一种微型光谱仪结构,包括外壳,所述外壳上安装有防护机构,所述防护机构包括盖板,所述外壳一侧安装有入射机构,所述入射机构包括光栅法兰,所述光栅法兰一端内侧卡合连接有狭缝片,所述外壳内...
袁晓宾
用于微型光谱仪的光引导壳体
披露了一种光谱仪壳体(116),该光谱仪壳体被配置用于至少部分地围封光谱仪模块(110)的至少一个检测器(112)和至少一个发射器(114)。光谱仪壳体(116)包括:‑框架元件(130);‑盖元件(132),该盖元件连...
W-S·王M·劳布舍尔S·瓦鲁施H·齐默尔曼
一种低温漂高稳定性微型光谱仪
本发明公开了一种低温漂高稳定性微型光谱仪,包括金属外壳和光学基板,金属外壳具有内腔和被探测光束入口;光学基板设置在金属外壳的内腔,光学基板的外周面与内腔的内壁之间有间隙,光学基板上设置有狭缝、光电探测器以及若干光学镜片,...
王旭陈云张冠文陈江韩张文凤
基于调谐机制的微型光谱仪光谱检测方法
本发明公开了一种基于调谐机制的微型光谱仪光谱检测方法。所述微型光谱仪包括光栅结构,其至少用于反射、透射或吸收被测光中选定波长的光线,从而产生至少一个共振峰;可调折射率结构,由折射率可调材料构成,可供被测光透过而入射到光...
陈沁文龙梁丽郑麒麟南向红
应用于微型光谱仪的MEMS电磁微镜设计
2025年
基于半导体工艺,设计并制作了一种应用于微型光谱仪领域的MEMS(Micro-electro-mechanical system)电磁扫描微镜。通过在镜面上集成金硅光栅窄带光学滤波结构,根据其窄带滤波波长随入射光角度变化以及通过表面等离子共振吸收入射光并产生光电流的特性,实现了无需外部探测器的分光与探测功能;采用在微镜背面镀铝形成欧姆接触,并贴合到PCB(Printed circuit board)板的背面引出电极的方式,在微镜上设计了驱动电流和光电流两套电流回路,实现了光信号探测与电信号输出的一体式集成。相比基于色散分光原理的MEMS扫描光栅微镜,缩短了光学路径,提升了系统集成度。实测器件在89.2 mA电流驱动下机械转角范围可达±11.4°;I-V特性曲线表明光电流回路有明显的肖特基整流特性;测试了10°~17°入射角范围内的光电流响应函数曲线,随着入射角增大,光电流响应峰会逐渐向短波方向移动,并伴随着光电流响应度的增大。共振滤波波长与入射角具有较好的线性变化关系,每1°入射光角度变化引起器件约15.7 nm的共振波长偏移量。
李自强李文超郑麒麟南向红余晖俊沈文江
关键词:微机电系统探测器光谱仪电磁驱动
旋转式微型光谱仪
本发明涉及一种旋转式微型光谱仪,其包括光谱仪模块,用于采样待测样品的光谱;上位机,其输入端与光谱仪模块的输出端相连接;电机控制器,其输入端与上位机的第一输出端相连接;电机,其控制端与电机控制器的输出端相连接;主动轮,其的...
程勇万勇刑宏斌
一种微型光谱仪保温减震装置
一种微型光谱仪保温减震装置,属于保温减震结构技术领域,结构上由加热铜板、支承结构、外壳、内壳、外壳前盖、启闭装置等部件构成,光谱仪放置于内壳中,内壳上下面各设有一加热铜板,加热铜板上焊接两引脚,内壳通过支承结构固定在外壳...
孙永元 吴祥 周林峰 陈鑫 王超超 张善文 缪宏 张燕军 刘思幸 张剑峰 高吉成
一种微型光谱仪
本发明公开了一种微型光谱仪,包括石墨烯带、顶镜、底镜、透明电极、光电转化层、立柱、基底介质层、电路控制模块和数据采集及分析系统,其中,立柱垂直于基底介质层之上,由一维光子晶体构成的顶镜通过双层石墨烯带悬挂于立柱之上;基底...
邓雄刘江涛李志远
一种微型光谱仪
本发明提供一种微型光谱仪。包括依次设置的扩散板、光阑、凸透镜、若干个可旋转二向色镜组件、带通滤光片、光电探测器,所述可旋转二向色镜组件包括:二向色镜、镜片支架、角度调节元件,所述二向色镜与所述镜片支架相匹配并固定连接在所...
王传亮耿旭辉沙涛

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温志渝
作品数:400被引量:1,019H指数:16
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研究主题:光谱 微型光谱仪 光学测量技术 矩阵方程 成像光谱仪
何浩培
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屈军乐
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