搜索到3646篇“ 微加速度计“的相关文章
- 硅微加速度计产品技术发展概览
- 2025年
- 国内技术发展现状电容式硅微加速度计MEMS加速度计的研究能追溯到20世纪80年代,1995年科技部设立了“微电子机械系统项目”,使得国内关于MEMS加速度计的探索和研究速度急剧上升。目前,国内关于MEMS加速度计的研究主要集中于高校和科研院所,如清华大学、哈尔滨工业大学、国防科技大学、浙江大学、东南大学、上海微系统所、河北半导体研究所、北京航天控制仪器研究所等。
- 秦和平胡利
- 关键词：MEMS加速度计微电子机械系统硅微加速度计
- 硅微加速度计产品技术发展概览 2
- 2025年
- 2024年,美国MEI Micro,Inc.公司发布了一款两用导航级低C-SWaP单敏感质量三轴硅微加速度计(见图7、图8、图9):在±10g范围内,速度随机游走(VRW)为3μg/Hz^(1/2),偏差不稳定性为7μg。该加速度计是在其新近开发完成的一种芯片级多轴MEMS惯性传感器工艺平台(3DS MEMS)上推出的首款产品,该工艺平台首次实现了将战术级/导航级多轴加速度计和陀螺仪集成到单个芯片,并能进行MEMS器件晶圆级真空封装,实现6轴运行,拥有从战术级到导航级的性能。
- 秦和平胡利
- 关键词：真空封装硅微加速度计MEMS器件随机游走芯片级
- 低量程抗冲击双轴微加速度计设计
- 2025年
- 针对常规武器弹药的外弹道信息测量过程中,低量程MEMS加速度传感器在上万g_(n)过载环境下的损坏问题,本文提出了一种双轴抗冲击微加速度传感器,可以实现抗过载3×10^(4)g_(n)量程50 g_(n)的指标要求。有限元仿真结果表明:在50 g_(n)载荷作用下,加速度计敏感单元在Y轴位移为1.476μm,灵敏度为0.730 pF/g_(n),在X轴位移为1.476μm,灵敏度为0.382 pF/g_(n)引入嵌入式双轴叉齿止挡缓冲结构的加速度传感器,在3×10^(4)g_(n)过载作用X轴下的梳齿最大位移为3.129μm,Y轴下的梳齿最大位移为3.042μm,均小于最小梳齿间距4μm,有效避免了短路。最大等效应力X轴,Y轴分别为180.880 MPa和85.136 MPa,均远小于硅(Si)的许用应力。
- 帅清石云波赵锐张志峰
- 关键词：抗冲击电容式微机电系统
- 硅微加速度计产品技术发展概览
- 2024年
- 引言目前,无人机、巡飞弹、防空导弹、智能炮弹等先进武器在战争中被频繁使用;现代战争对双方武器装备的现代化和自主可控提出了更高的要求,对惯性传感器高精度、微型化、敏捷量产的需求更为迫切。加速度计是一种测量载体运动加速度的惯性传感器,又称比力计,其理论依据是牛顿第二定律。基于MEMS技术的硅微加速度计具有低成本、高抗过载、易于批量生产等.特点,可按照检测方式、敏感轴数目、测量方式、运动方式等进行分类,如图1所示。
- 秦和平胡利
- 关键词：惯性传感器牛顿第二定律硅微加速度计MEMS技术测量方式
- 一种高过载扭摆式硅微加速度计及其制备方法
- 本发明公开了一种高过载扭摆式硅微加速度计及其制备方法，本发明的高过载扭摆式硅微加速度计包括SOI电极结构层和硅敏感结构，SOI电极结构层上设有三个静电电容区域及对应的引线盘，硅敏感结构包括质量块及其中部刻蚀形成的键合块和...
- 虢晓双王北镇严铖朱建强熊亮周军雷杨靖张新凯黎傲雪
- 一种抗高过载硅敏感单元、微加速度计及其制备方法
- 本发明公开了一种抗高过载硅敏感单元、微加速度计及其制备方法，硅敏感单元包括外框、复合梁结构与质量块组件；复合梁结构包含梁应力释放结构、敏感梁和位移限制梁，梁应力释放结构的两侧通过敏感梁与外框相连、两端通过位移限制梁与外框...
- 侯占强吴学忠肖定邦李青松席翔张勇猛刘高单恒苗桐侨虢晓双王北镇
- 具有一体式应力隔离下极板的微加速度计及其加工方法
- 本发明涉及传感器技术领域，提供一种具有一体式应力隔离下极板的微加速度计及其加工方法。微加速度计包括下极板和连接至下极板的应力缓冲板。下极板包括下极板主体和与下极板主体一体成型的隔离结构，应力缓冲板包括应力缓冲板主体和位于...
- 杨杰赵宝林张照云熊壮屈明山李严军郑英彬
- 具有一体式应力隔离下极板的微加速度计及其加工方法
- 本发明涉及传感器技术领域，提供一种具有一体式应力隔离下极板的微加速度计及其加工方法。微加速度计包括下极板和连接至下极板的应力缓冲板。下极板包括下极板主体和与下极板主体一体成型的隔离结构，应力缓冲板包括应力缓冲板主体和位于...
- 杨杰赵宝林张照云熊壮屈明山李严军郑英彬
- 基于MEMS硅微加速度计传感器的姿态短节的非线性补偿方法
- 本发明公开了基于MEMS硅微加速度计传感器的姿态短节的非线性补偿方法，涉及石油天然气勘探开发钻井领域，包括对仪器的正交性进行矫正；将仪器放置在专用测量工具内，通电测量；对仪器进行升温测试，直到仪器的最高工作温度点，并分别...
- 邹继华裴建静王国光闫伟贺鸣张佳纯王福增焦向明张学佳甄戈赛
- 田字形解耦隔振组合梁框架结构及其高精度四质量双轴微加速度计
- 本发明公开了田字形解耦隔振组合梁框架结构及其高精度四质量双轴微加速度计，该结构包括：至少四个外环直梁机构和至少四个解耦隔振环；该加速度计包括：衬底层和器件层，其中，器件层包括上述的田字形解耦隔振组合梁框架结构、X轴双质量...
- 雷龙海陈东华
相关作者
- 刘俊
- 作品数：1,579被引量：2,227H指数：17
- 供职机构：中北大学
- 研究主题：加速度计 色心 金刚石 微加速度计 加速度传感器
- 张文栋
- 作品数：1,223被引量：1,702H指数：19
- 供职机构：中北大学
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- 董景新
- 作品数：190被引量：550H指数：11
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：加速度计 微机械加速度计 微机电系统 微机械 微加速度计
- 唐彬
- 作品数：109被引量：46H指数：3
- 供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
- 研究主题：加速度计 极板 微加速度计 石英 结构层
- 陈文元
- 作品数：524被引量：480H指数：10
- 供职机构：上海交通大学
- 研究主题：微陀螺 电极 陀螺 微机电技术 微机电系统技术
