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多弧离子镀膜装置
本申请涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种多弧离子镀膜装置。该多弧离子镀膜装置包括镀膜模组，镀膜模组包括真空室、镀膜弧源和刻蚀弧源，镀膜弧源和刻蚀弧源均与真空室相连接，真空室的内部用于通入反应气体。该多弧离子镀膜装置采用...
王君闫超颖依君梁惠朋
一种多弧离子镀引弧装置
本发明涉及真空镀膜技术领域，具体为一种多弧离子镀引弧装置，包括引弧母杆，引弧母杆的前端固定设有若干个沿引弧母杆轴心方向依次设置的引弧子杆，引弧子杆沿垂直于引弧母杆的轴心方向固定设有引弧针，若干个引弧针以引弧子杆的轴心为中...
王光辉张宏伟姜月秋郭策安卢旭东
一种多弧离子镀阴极装置及多弧离子镀方法
本发明公开一种多弧离子镀阴极装置，包括弧阴极安装座，所述弧阴极安装座包括第一侧及与所述第一侧相对设置的第二侧；所述第一侧用于安装并支撑靶材；引弧针，安装于所述弧阴极安装座上并伸出所述弧阴极安装座的所述第一侧，所述引弧针与...
盛海杨安存韦金权王金年
一种多弧离子镀制备双相热障涂层MCrAlY粘结层的方法
本发明公开了一种多弧离子镀制备双相热障涂层MCrAlY粘结层的方法，首先确定拟制备的双相MCrAlY粘结层的元素成分，对双相MCrAlY粘结层内物相及元素成分进行相图计算，得到γ相和β相的元素成分；然后采用真空电弧熔炼法...
刘俊凯李莹博杨丽周益春朱肖飞曹可李桂芳孙宇李聪程春玉
一种用于顶装式多弧离子镀膜设备的积木式组合工装
本发明提供一种用于顶装式多弧离子镀膜设备的积木式组合工装，包括多个单件工装和连接杆，单件工装包括外壳、主动轮、从动轮；工作时，将单件工装安装在连接杆上；连接杆与设备的行星轮连接，将设备行星轮的转动传递至连接杆；通过连接杆...
杨鹏雷丹陈伟韩文莉亢兴王玉锋刘红斌过月娥
一种多弧离子镀镀膜装置
本实用新型涉及电弧离子镀技术领域，具体公开了一种多弧离子镀镀膜装置，包括真空室，真空室的侧壁构成八边形，设置在真空室侧壁上的靶材固定框以及设置在靶材固定框的多个靶材。本实用新型使得靶材更加紧凑，使得等离子体能够更加均匀地...
陈瑶瑶谭卓鹏钟志强邱联昌高亚伟周贤杰殷磊胡伟军廖星文
用于多弧离子镀的阴极电弧靶结构
本发明公开了一种用于多弧离子镀的阴极电弧靶结构，包括安装盘、屏蔽罩、绝缘密封套、水冷靶座、压紧机构和引弧装置；安装盘上设有第一安装孔；屏蔽罩通过绝缘座安装于安装盘的内侧；绝缘密封套从第一安装孔穿过，绝缘密封套的外端设有压...
请求不公布姓名请求不公布姓名
一种多弧离子镀阴极装置
本发明公开了一种多弧离子镀阴极装置，包括用于安装多弧离子镀阴极装置的真空腔体装置和多弧阴极电源，多弧阴极体通过多弧阴极底座安装于真空腔体装置内；多弧阴极体与辅助阳极板通过绝缘支撑柱固定连接；凹型矩形靶固定在多弧阴极体上；...
崔岸 黄显晴 刘天赐 杨伟丽 徐晓倩孙文龙 郝裕兴
多弧离子镀的双线圈控制弧源装置及多弧离子镀设备
本发明公开了一种多弧离子镀的双线圈控制弧源装置及多弧离子镀设备，所述的双线圈控制弧源装置包括：外壳、第一线圈、第二线圈、法兰以及靶座、绝缘板，外壳一端固定连接法兰，靶座、绝缘板均卡设在法兰的内圈，并与法兰固定连接，靶座用...
李浩姚奕帆徐小军朱旻昊
多弧离子镀沉积TiAlSiN涂层微观结构及力学性能分析
2024年
为开发适用于切削316L不锈钢的刀具涂层,现采用多弧离子镀技术在硬质合金基体上沉积TiAlSiN纳米复合涂层的方法,此方法可为该涂层体系进行不锈钢加工的深入研究提供参考。
陈亚奋董子豪
关键词：多弧离子镀细晶强化
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张钧
作品数：164被引量：243H指数：9
供职机构：沈阳大学
研究主题：多弧离子镀 氮化物 硬质 硬质膜 反应膜
李金龙
作品数：160被引量：212H指数：8
供职机构：中国科学院宁波材料技术与工程研究所宁波材料技术与工程研究所
研究主题：多弧离子镀 摩擦学性能 海水环境 磨损 摩擦学
王立平
作品数：520被引量：785H指数：16
供职机构：中国科学院宁波材料技术与工程研究所宁波材料技术与工程研究所
研究主题：制法 石墨烯 多弧离子镀 二硫化钼 摩擦学性能
王永欣
作品数：136被引量：200H指数：9
供职机构：中国科学院宁波材料技术与工程研究所宁波材料技术与工程研究所
研究主题：多弧离子镀 摩擦学性能 海水环境 摩擦学 性能研究
张平
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研究主题：摩擦学性能 多弧离子镀 活塞环 性能研究 摩擦学