搜索到3714篇“ 声表面波器件“的相关文章
- 一种声表面波器件
- 本发明涉及一种声表面波器件，包括：衬底；第一压电薄膜，设在所述衬底上；第二压电薄膜，设在所述第一压电薄膜上；第一换能器电极，设在所述第二压电薄膜上；第二换能器电极，设在所述第二压电薄膜上并与所述第一换能器电极的位置相对应...
- 欧欣郭新雨张师斌郑鹏程房晓丽
- 一种声表面波器件及其制备方法
- 本发明公开了一种声表面波器件及其制备方法。其中，声表面波器件包括：支撑衬底、压电层和电极；压电层设置在支撑衬底一侧；电极设置在压电层远离支撑衬底一侧；支撑衬底包括基底和反射层；压电层设置在反射层远离基底一侧；基底的声速小...
- 沈君尧
- 声表面波器件及射频前端模组
- 本申请公开一种声表面波器件及射频前端模组，声表面波器件包括压电层、声速层和叉指电极，所述叉指电极包括多个电极指。压电层具有相对设置的第一面和第二面，叉指电极设于压电层的第一面，声速层设于压电层的第二面；声表面波器件工作时...
- 李阳杜波刘旻俊王华磊倪建兴
- 声表面波器件及射频前端模组
- 本申请公开了一种声表面波器件，包括衬底、第一介质层、压电层、叉指换能器和第二介质层；第一介质层设置于衬底上；压电层设置于第一介质层上；叉指换能器设置于压电层表面，在电极指的延伸方向上，两个汇流条之间具有交叠区域，交叠区域...
- 刘旻俊杜波李阳王华磊倪建兴
- 一种声表面波器件结构及装置
- 本申请提供了一种声表面波器件结构及装置，包括衬底和IDT电极，IDT电极形成于衬底上，包括相对设置的两个叉指电极，每个叉指电极均包括一个汇流条和多个电极，不同叉指电极的电极指之间交错间隔排列。通过在电极指上形成至少一个凹...
- 王园园汪泉张树民
- 声表面波换能器和声表面波器件
- 本发明提供了一种声表面波换能器和声表面波器件。在该声表面波换能器中，通过使叉指电极在边缘区域的至少部分材料的密度高于在主区域的材料密度，从而将边缘区域的声波速度调整至低于主区域的声波速度，如此即可产生活塞模式的工作状态，...
- 谢尔盖·巴苏库
- 柔性氧化锌声表面波器件的研究
- 2025年
- 为了研究基于柔性衬底的Zno压电薄膜的声表面波谐振器,选择以氟晶云母为衬底,通过磁控溅射技术在柔性云母衬底上优化了ZnO压电薄膜的生长条件,确定了最佳工艺参数:氩氧气体流量比为300∶20,工艺气压为1.0Pa,衬底加热温度为300℃,在该参数下所制备的ZnO的摇摆曲线半高宽为1.7°。通过在ZnO与云母间引入SrTiO_(3)(STO)热膨胀缓冲层,解决了高温退火导致ZnO薄膜龟裂的问题,成功防止了700℃退火时的龟裂,并且没有影响ZnO的c轴结晶的质量,其摇摆曲线半高宽为2.0°。采用紫外光刻技术并且结合优化后的ZnO薄膜和STO缓冲层,成功制造出ZnO/STO/Mica柔性声表面波谐振器,该谐振器表现出约189MHz的谐振频率。
- 刘兴鹏王明宣张永杰杨俊锋邓卫平
- 关键词：磁控溅射云母ZNO声表面波谐振器
- 一种高性能声表面波器件及其制备工艺
- 本发明属于微电子器件技术领域，具体涉及一种高性能声表面波器件及其制备工艺。包括以下步骤：在低阻硅衬底上制备多晶金刚石薄膜层；在多晶金刚石薄膜层上制备温补层；在体块压电前驱体内注入氦离子，形成要转移的压电薄膜层；采用键合工...
- 唐供宾李明
- 声表面波器件、射频前端模组及电子设备
- 本申请涉及谐振器技术领域，尤其涉及一种声表面波器件、射频前端模组及电子设备，该声表面波器件包括压电衬底，所述压电衬底包括介质层和设置在介质层一侧的压电层；IDT电极，设置在所述压电层远离所述介质层的一侧；通过选择合适的介...
- 刘旻俊李阳杜波王华磊倪建兴
- 声表面波器件、滤波器和射频前端模组
- 本申请提供一种声表面波器件、滤波器和射频前端模组，声表面波器件包括压电基底、叉指换能器和附属结构，叉指换能器设于压电基底；在叉指换能器的两个汇流条的排布方向上，两个汇流条之间具有交叉区，交叉区包括中间区和位于中间区两端的...
- 冯玉霖杜波王华磊倪建兴
相关作者
- 潘峰
- 作品数：145被引量：2H指数：1
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：声表面波器件 存储器 机电耦合系数 底电极 氧化锌薄膜
- 文常保
- 作品数：138被引量：198H指数：8
- 供职机构：长安大学
- 研究主题：声表面波器件 声表面波 方块电阻 反相器 势垒
- 董加和
- 作品数：83被引量：50H指数：4
- 供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所
- 研究主题：声表面波器件 声表面波滤波器 声表面波 杂波 SAW滤波器
- 巨永锋
- 作品数：267被引量：822H指数：13
- 供职机构：长安大学电子与控制工程学院
- 研究主题：声表面波器件 无线传感器网络 封装密度 换能器 欧姆接触电极
- 曾飞
- 作品数：156被引量：26H指数：3
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：离子束辅助沉积 声表面波器件 存储器 多层膜 磁控溅射
