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双面半导体晶片
提供了一种半导体器件，该半导体器件具有一个或多个双面半导体晶片。该双面半导体晶片包括在第一平坦表面上的第一半导体裸片阵列和在与该第一平坦表面相对的第二平坦表面上的第二半导体裸片阵列。该第一半导体裸片阵列经由第一再分布层电...
石蕾张聪邱进添
半导体晶片装置
一种半导体晶片装置，包含第一裸片、第二裸片、解耦电路及中介板。中介板具有多个电源走线及多个接地走线。第一裸片与第二裸片以配置方向设置于中介板的第一侧面，并且耦接所述多个电源走线与所述多个接地走线。解耦电路设置于中介板的第...
陈良恺洪志强简文逸林元鸿杨昇帆
半导体晶片高效冷却装置
本实用新型涉及冷却装置技术领域，本申请公开了半导体晶片高效冷却装置，包括切割装置本体、晶片本体和切割刀片，所述切割装置本体上设置有切割刀片，所述切割刀片下方设置有晶片本体，所述切割装置本体一侧上固定有风机，所述风机顶面开...
李维繁星张春霞李北印沈红星陈泳宇
一种半导体晶片切割装置
本实用新型涉及半导体晶片技术领域，且公开了一种半导体晶片切割装置，包括工作台，还包括：设置在工作台顶部的两组支撑板，所述支撑板的一侧固定连接有固定板，所述固定板的一侧设置有多组移动板；设置在固定板的一侧用于对切割仪器进行...
李亚平张秀芳贾松松纪双涛
一种半导体晶片抛光装置
本实用新型涉及半导体晶片技术领域，且公开了一种半导体晶片抛光装置；包括底板，还包括：固定于底板顶部的支撑座，所述支撑座的顶部固定连接有支撑套，所述支撑套的外侧转动连接有对晶片进行翻转的驱动套，所述驱动套的一侧固定连接有固...
纪双涛孙士龙王鑫李亚平
半导体晶片及其制备方法
本公开的实施例涉及半导体晶片及其制备方法。一种半导体晶片，包括：第一类半导体器件和第二类半导体器件。第一类半导体器件中的半导体器件包括：第一有源区域、位于第一有源区域上的第一绝缘层，以及位于第一绝缘层上的第一过孔，第一绝...
白玉杰唐颖罗卫平李笑晗张泽昊李鹏
半导体晶片旋转台装置
本实用新型公开了半导体晶片旋转台装置，包括基板和旋转台，旋转台的顶部固定连接有辅助卡板，旋转台的内壁通过扭簧轴转动连接有转动板，旋转台的顶部固定连接有挡块，挡块设在转动板的顶部。本实用新型中，半导体晶片制备完成后，旋转台...
叶十逢俞子强
半导体晶片的评价方法
本发明提供一种利用激光表面检查装置评价半导体晶片的半导体晶片的评价方法。上述半导体晶片在半导体基板上具有覆盖层，上述激光表面检查装置具有：第一入射系统；第二入射系统，以比第一入射系统入射到被照射面的光的入射角高的角度的入...
黑纸基森敬一朗
一种半导体晶片生成方法
本发明涉及一种半导体晶片生成方法，其包括以下步骤，先设定激光扫描次数，再分别设定每次激光扫描的扫描路径和点间距；基于每次激光扫描预设的计算规则，确定激光扫描速度和激光脉冲重复频率，并确定对应的改质点直径、激光脉冲能量、以...
刘峰江刘东立
一种半导体晶片表面处理设备
本发明涉及半导体器件制造技术领域，尤其涉及一种半导体晶片表面处理设备，包括有工作台、清洗箱、主轴、轴座、料框、分驱机构等；工作台上固接有清洗箱，清洗箱上转动连接有主轴，主轴上通过轴座转动连接有料框，料框内用于放置待清洗的...
唐维维刘弦罗桂海
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吴仪
作品数：163被引量：3H指数：1
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供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
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供职机构：大连理工大学
研究主题：超声 蜂窝芯 刀具 螺旋铣 晶片
时康
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供职机构：厦门大学
研究主题：光电化学 电化学刻蚀 晶片 抛光垫 机械抛光