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声波谐振器
本公开提供一种声波谐振器,所述声波谐振器包括:基板;第一电极,其中,在所述基板与所述第一电极之间形成腔;压电层,设置在所述第一电极上并且与所述第一电极的至少一部分叠置;第二电极,设置在所述压电层上并且与所述压电层的至...
韩源孙尚郁金泰润林昶贤韩相宪金钟范
一种薄膜声波谐振器
本申请公开一种薄膜声波谐振器,涉及谐振器技术领域,该薄膜声波谐振器包括衬底以及依次设置于衬底上的底电极、压电层和顶电极,其中,衬底上设置有凹槽,底电极、压电层和顶电极在层叠方向上的交叠区域作为谐振区域,压电层上设置有...
周杰高超代金豪蔡耀孙成亮王世杰
声波谐振器及其制备方法
本申请公开了一种声波谐振器及其制备方法。其中制备方法包括:提供衬底晶圆;在衬底晶圆的表面上进行开孔,以形成空腔结构;提供压电薄膜层,压电膜层的第一表面上形成有至少两个电极;将压电薄膜层的第二表面与衬底晶圆键合,且压电薄...
万青乐先浩汪子豪
薄膜声波谐振器及其制造方法
本发明涉及一种薄膜声波谐振器及其制造方法,其中,薄膜声波谐振器包括:设有第一空腔的第一衬底;压电叠层结构,从下至上包括依次层叠的第一电极、压电层和第二电极,压电层遮盖第一空腔,第一电极和第二电极的边缘均位于第一空腔围...
黄河
一种声波谐振器及其制备方法
本申请涉及声波谐振器技术领域,具提供了一种声波谐振器及其制备方法,该方法包括以下步骤:S1、在衬底上形成声堆栈和位于声堆栈下方的声反射镜;S2、基于目标串联谐振频率根据预设转换关系获取对应的凹陷深度信息和目标金属层...
张伟军李国强衣新燕
一种声波谐振器及其制备方法
本申请公开了一种声波谐振器及其制备方法,涉及微机电系统技术领域,本申请的声波谐振器,包括衬底以及依次设置于衬底上的底电极、压电层和顶电极,衬底内形成有声反射结构,底电极、压电层、顶电极以及声反射结构在衬底上的投影重叠...
周志虎何军
薄膜声波谐振器及其制备方法
本申请涉及半导件技术领域,具公开了一种薄膜声波谐振器及其制备方法,薄膜声波谐振器,包括衬底以及层叠设置在衬底上的下电极、压电层、增厚层以及上电极;下电极、压电层以及上电极在衬底上投影的重叠部分为有源区域;增厚层...
周杰李习科关若飞蔡耀孙成亮王世杰
一种声波谐振器及其制备方法
本申请公开了一种声波谐振器及其制备方法,涉及微机电系统技术领域,本申请的声波谐振器,包括衬底以及设置于衬底上的下电极、压电层、温补层以及上电极,其中,压电层的两侧面通过第一粘附层和第二粘附层分别与压电层和上电极接触,...
周杰邹杨代金豪蔡耀孙成亮王世杰
薄膜声波谐振器及其制备方法
本申请涉及半导件技术领域,具公开了一种薄膜声波谐振器及其制备方法,薄膜声波谐振器,包括衬底以及层叠设置在衬底上的下电极、压电层、上电极以及钝化层;下电极、压电层以及上电极在衬底上投影的重叠部分为有源区域;在压电...
周杰代金豪邹杨蔡耀孙成亮王世杰
一种声波谐振器及滤波
本发明公开了一种声波谐振器及滤波,应用于通信领域,其中顶部电极与压电层之间均设置有第一凸起结构和第二凸起结构;第一凸起结构围绕形成内侧的第一凸多边形区域,第二凸起结构围绕形成内侧的第二凸多边形区域,且第二凸起结构的内...
李平彭波华王伟樊继武杨金铭胡念楚贾斌

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作品数:275被引量:7H指数:2
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研究主题:谐振器 滤波器 压电层 电子设备 电极
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供职机构:天津大学
研究主题:电子设备 滤波器 谐振器 体声波谐振器 底电极
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研究主题:滤波器 谐振器 薄膜体声波谐振器 滤波器技术 腔体
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供职机构:西南科技大学
研究主题:微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
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作品数:714被引量:76H指数:5
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研究主题:衬底 SUB LED芯片 电极 石墨烯