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体声波谐振器
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排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效性降序
时效性升序
相关度排序
相关度排序
被引量排序
时效性降序
时效性升序
体
声波
谐振器
本公开提供一种
体
声波
谐振器
,所述
体
声波
谐振器
包括:基板;第一电极,其中,在所述基板与所述第一电极之间形成腔;压电层,设置在所述第一电极上并且与所述第一电极的至少一部分叠置;第二电极,设置在所述压电层上并且与所述压电层的至...
韩源
孙尚郁
金泰润
林昶贤
韩相宪
金钟范
一种薄膜
体
声波
谐振器
本申请公开一种薄膜
体
声波
谐振器
,涉及
谐振器
技术领域,该薄膜
体
声波
谐振器
包括衬底以及依次设置于衬底上的底电极、压电层和顶电极,其中,衬底上设置有凹槽,底电极、压电层和顶电极在层叠方向上的交叠区域作为
谐振
区域,压电层上设置有...
周杰
高超
代金豪
蔡耀
孙成亮
王世杰
体
声波
谐振器
及其制备方法
本申请公开了一种
体
声波
谐振器
及其制备方法。其中制备方法包括:提供衬底晶圆;在衬底晶圆的表面上进行开孔,以形成空腔结构;提供压电薄膜层,压电膜层的第一表面上形成有至少两个电极;将压电薄膜层的第二表面与衬底晶圆键合,且压电薄...
万青
乐先浩
汪子豪
薄膜
体
声波
谐振器
及其制造方法
本发明涉及一种薄膜
体
声波
谐振器
及其制造方法,其中,薄膜
体
声波
谐振器
包括:设有第一空腔的第一衬底;压电叠层结构,从下至上包括依次层叠的第一电极、压电层和第二电极,压电层遮盖第一空腔,第一电极和第二电极的边缘均位于第一空腔围...
黄河
一种
体
声波
谐振器
及其制备方法
本申请涉及
体
声波
谐振器
技术领域,具
体
提供了一种
体
声波
谐振器
及其制备方法,该方法包括以下步骤:S1、在衬底上形成声堆栈和位于声堆栈下方的声反射镜;S2、基于目标串联
谐振
频率根据预设转换关系获取对应的凹陷深度信息和目标金属层...
张伟军
李国强
衣新燕
一种
体
声波
谐振器
及其制备方法
本申请公开了一种
体
声波
谐振器
及其制备方法,涉及微机电系统技术领域,本申请的
体
声波
谐振器
,包括衬底以及依次设置于衬底上的底电极、压电层和顶电极,衬底内形成有声反射结构,底电极、压电层、顶电极以及声反射结构在衬底上的投影重叠...
周志虎
何军
薄膜
体
声波
谐振器
及其制备方法
本申请涉及半导
体
器
件技术领域,具
体
公开了一种薄膜
体
声波
谐振器
及其制备方法,薄膜
体
声波
谐振器
,包括衬底以及层叠设置在衬底上的下电极、压电层、增厚层以及上电极;下电极、压电层以及上电极在衬底上投影的重叠部分为有源区域;增厚层...
周杰
李习科
关若飞
蔡耀
孙成亮
王世杰
一种
体
声波
谐振器
及其制备方法
本申请公开了一种
体
声波
谐振器
及其制备方法,涉及微机电系统技术领域,本申请的
体
声波
谐振器
,包括衬底以及设置于衬底上的下电极、压电层、温补层以及上电极,其中,压电层的两侧面通过第一粘附层和第二粘附层分别与压电层和上电极接触,...
周杰
邹杨
代金豪
蔡耀
孙成亮
王世杰
薄膜
体
声波
谐振器
及其制备方法
本申请涉及半导
体
器
件技术领域,具
体
公开了一种薄膜
体
声波
谐振器
及其制备方法,薄膜
体
声波
谐振器
,包括衬底以及层叠设置在衬底上的下电极、压电层、上电极以及钝化层;下电极、压电层以及上电极在衬底上投影的重叠部分为有源区域;在压电...
周杰
代金豪
邹杨
蔡耀
孙成亮
王世杰
一种
体
声波
谐振器
及滤波
器
本发明公开了一种
体
声波
谐振器
及滤波
器
,应用于通信领域,其中顶部电极与压电层之间均设置有第一凸起结构和第二凸起结构;第一凸起结构围绕形成内侧的第一凸多边形区域,第二凸起结构围绕形成内侧的第二凸多边形区域,且第二凸起结构的内...
李平
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王伟
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