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介观压阻效应: 为了突破传统机电转换,如压电、压阻及压容等效应的宏观物理局限,着手研究介观压阻效应.本文提出,通过四个物理过程来实现介观压阻效应.原理上讲,在力学信号作用下,纳米结构中的应力分布会发生变化;应力变化可引起内建电场的产生;...; 温廷敦张文栋; 关键词：内建电场压阻效应

介观压阻效应被引量：58: 2003年; 为了突破传统机电转换 ,如压电、压阻及压容等效应的宏观物理局限 ,着手研究介观压阻效应。本文提出 ,通过四个物理过程来实现介观压阻效应。原理上讲 ,在力学信号作用下 ,纳米结构中的应力分布会发生变化 ;应力变化可引起内建电场的产生 ;内建电场将导致纳米结构中量子能态发生改变 ;量子能态改变会引起共振隧穿电流的变化。; 温廷敦张文栋; 关键词：介观物理介观压阻效应电子光学内建电场

一种新型介观压阻效应微加速度计: 一种新型介观压阻效应微加速度计，主要结构由键合基板、敏感质量块、支撑框体、共振隧穿器件、组合梁组成，共振隧穿器件由共振隧穿材料薄膜层、共振隧穿器件正极、共振隧穿器件负极组成，组合梁由检测梁、连接块、横向缓冲梁组成；以键合...; 李孟委王莉李锡广白晓晓王琪杜康刘俊郑伦贵

基于砷化镓的介观压阻效应微机械陀螺研究: 陀螺是惯性导航和制导的核心器件之一,决定着武器的精确打击能力,而高灵敏度陀螺是国外禁运技术,因此发展陀螺技术是国防建设的需要。微机械陀螺以体积小、成本低、搞过载能力强等优势,成为世界各国研究的热点。本文就此提出了一种压阻...; 李孟委; 关键词：微机械陀螺介观压阻效应

介观压阻效应电磁驱动微机械陀螺仪的设计与测试: 2010年; 将共振隧穿二极管具有的介观压阻效应与哥氏效应结合应用于陀螺的设计中,提出了一种新型的采用回折型正交梁的陀螺结构。结合现在的工艺水平,设计了合理的加工工艺方案,并进行了加工与封装。通过对封装后的陀螺进行驱动方向测试,得到了固有频率的范围;检测方向上利用振动台对陀螺灵敏度进行了测试,得到在1kHz和4kHz时的测试灵敏度分别为7.51mV/gn、100.74mV/gn。; 王瑞荣杜康石云波刘俊; 关键词：介观压阻效应微机械陀螺

基于介观压阻效应微位移传感器的设计与仿真: 随着分子束外延(MBE)技术和纳机电系统加工技术的快速发展，各种新型的超晶格量子阱器件被加工出来。因尺度变小而产生的各种效应(包括量子效应)就会凸现出来，基于这些效应的纳机电器件会体现出新的特征和性能。本文研究了基于Ga...; 张庆伟; 关键词：微位移传感器共振隧穿介观压阻效应计算机仿真

介观压阻效应微陀螺仪的制造问题及改进方法: 2009年; 将利用多势垒纳米膜介观压阻效应的高灵敏度器件应用在陀螺中,提出了介观压阻效应微陀螺仪结构,并论述了其工作原理.研究并开发了多势垒纳米膜及介观压阻效应微陀螺仪的制造工艺,通过对制造后的结构进行测试,发现了制造过程中的缺陷,包括敏感结构多势垒纳米膜制造缺陷、陀螺检测梁和驱动梁制造缺陷、检测信号电磁干扰缺陷和封装缺陷等.分析论述了形成缺陷的原因,提出了克服这些问题的工艺方法,从而改进了隧穿微机械陀螺仪的制造工艺,有利于提高微陀螺的制造成品率.; 李孟委杜康刘俊王勇石云波; 关键词：介观压阻效应

基于介观压阻效应的新型微陀螺仪结构设计与优化被引量：2: 2009年; 介绍了介观压阻效应,其灵敏度比硅压阻效应高一个数量级.利用该效应作为高灵敏度器件,首次提出了介观压阻效应微陀螺仪结构,并论述了其工作原理.利用AN SY S软件,对其结构性能进行仿真,分析了固有频率、振幅以及哥氏效应下敏感方向的位移等特性,提出了结构优化分析的方法.在哥氏效应等耦合作用下对该结构进行多参数优化设计,并得到优化结果.经过对结果进行比较和考量分析,结果证明:微陀螺仪的驱动频率和检测频率的差值由原来的217.83 H z增大到362.87 H z,微陀螺仪的工作带宽增大,同时质量块在Z方向的位移增大了0.3μm,从而使检测梁根部受到的应力也增大了1.7 M Pa,结构灵敏度提高了18%.; 李孟委刘俊刘韶轩杜康石云波; 关键词：介观压阻效应微机械陀螺结构优化

介观压阻效应及器件被引量：4: 2008年; 介绍GaAs/AlAs/InGaAs双势垒超晶格薄膜结构的介观压阻效应以及几种基于此效应的新型传感器件。阐述介观压阻效应的四个过程,结合空气桥结构和欧姆接触技术,在[001]晶向半绝缘GaAs衬底上加工出来了GaAs/AlAs/InGaAs共振隧穿结构(Resonant tunneling structures,RTS),并对其进行了加压试验研究,发现其介观压阻灵敏度达到2.54×10^(-9)Pa^(-1),是硅压阻灵敏度的一个数量级以上。采用控制孔技术成功加工出了基于RTS的圆膜压力、四梁加速度和仿生矢量水声三种新型纳机电器件,并分别对其进行了压力罐、振动台和水下驻波测试。结果表明圆膜压力传感器具有较好的力电耦合特性:四梁加速度计的压阻灵敏度随RTS两端偏置电压可调,并在微分负阻区具有最大压阻灵敏度;矢量水听器具有良好的"8"字余弦指向性,灵敏度在1 000 Hz时达到184.6 dB,可以实现水平面内的水下声信号探测。; 张文栋熊继军薛晨阳张斌珍仝召民; 关键词：介观压阻效应

介观压阻效应在微型传感器中的应用研究: 2008年; 对运用共振隧穿双势垒(DBRT)结构中的一种压阻效应原理——介观压阻效应,用GaAs/AlAs/InGaAs DBRT结构薄膜作为敏感元件,设计了一个周边固支平膜片结构的压力传感器.通过分析、模拟、计算和试验测试得到了它的参数,并对介观压阻灵敏度和压阻灵敏度的量级作出了比较,验证了介观压阻效应原理可以提高压力传感器的灵敏度的可行性,为制造出基于介观压阻效应的新型超敏感型传感器提供了一定的理论依据.; 王伟温廷敦许丽萍张庆伟; 关键词：传感器共振隧穿介观压阻效应灵敏度

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